Gebraucht SHIBAURA ICE 300 #9405111 zu verkaufen
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ID: 9405111
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Asher, 12"
Gases: O2, N2
SMIF Loader
APC Pressure control
Strong electric board
Atmospheric loader
ASYST LP
Power supply:
KYOSAN RF Power supply: 5 kW
KYOSAN Vias RF Power supply: 1 kW
2005 vintage.
SHIBAURA ICE 300 ist ein Trockenätz-, chemisch unterstütztes Plasmasystem zur hochpräzisen Mikrostrukturierung. Dieses Gerät eignet sich gut für den Einsatz in der Wissenschaft, Mikroelektronik und Bio-Fertigung. Es ist ein vielseitiger, zuverlässiger und benutzerfreundlicher Ätzer/Ascher für eine breite Palette von Materialien wie Halbleiter, Gläser und Keramik. ICE 300 ist mit einem 13.56MHz Stromgenerator gebaut und bietet eine präzise und effiziente Ätzung von Materialien bis hin zum Nanoskala. Der Generator bietet auch eine sehr stabile Druckregelung, so dass präzise Ätztiefen erreicht werden können. Der Generator ist mit einer Druckkammer, einer Quelle für Argon, Sauerstoff und/oder Stickstoff und einem Mikrowellenabscheidungssystem verbunden, was dem Werkzeug eine präzise Manipulation von Ätztiefe, Maskenniveau, Ätzwinkel und Ätzbreite ermöglicht. SHIBAURA ICE 300 verfügt über eine Elektronenstrahlkanone, mit der Kanten und Maskengrenzen definiert werden. Es verfügt über ein optisches Gradient Sample Motion System, das den gewünschten Ätzwinkel schnell und genau einstellen kann. Es hat auch eine Full-Loop-HF-Leistungssteuerung, die es dem Benutzer ermöglicht, schnell ihre gewünschte Ätzung zu erreichen und ihre Ergebnisse mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit zu wiederholen. Zur Sicherheit verfügt der ICE 300 über ein reflektierendes Fenster, das verhindert, dass hochenergetische Partikel beim Ätzen und Aschen auf das Personal treffen. Es handelt sich um einen Closed-Loop-Prozess, der viele Entlassungen aufweist, um schwere Unfälle zu verhindern. SHIBAURA ICE 300 ist ein vielseitiges Werkzeug, das in der Lage ist, eine Vielzahl von Materialien wie Aluminiumoxid und Siliziumwafer, SiO2/SiN, Polymere und organische Materialien zu ätzen. Es bietet auch hervorragende Möglichkeiten zur Herstellung von Mikromustern, einschließlich Funktionen bis zu 50µm. Es ist auch ein benutzerfreundliches Ätzgerät, weshalb es für Mikroelektronik und Bio-Fertigungsanwendungen geeignet ist. Abschließend ist ICE 300 ein ausgezeichneter Ätzer und Ascher für Mikroelektronik, Bio-Fertigung und andere Laboranwendungen. Es bietet präzise Musterung und überlegene Wiederholbarkeit und ist ein zuverlässiges und benutzerfreundliches Werkzeug für verschiedene Anwendungen.
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