Gebraucht SHIBAURA ICE/RPA 300 #9405822 zu verkaufen
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ID: 9405822
Wafergröße: 12"
Weinlese: 2005
Remote plasma ashing system, 12"
Gases: O2, N2, He, H2, Ar, CF4
APC Pressure control
Strong electric board
Atmospheric loader
ASYST LP
Power supply:
KYOSAN PC1 Source RF power supply: 3 kW
KYOSAN PC1 Vias RF Power supply: 1 kW
DAIHEN PC2 Microwave power supply: 3 kW
2005 vintage.
SHIBAURA ICE/RPA 300 ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher für Prozessanwendungen mit hohem Volumen. Es bietet einwandfreie Präzision und Genauigkeit für Ätz-/Ascheergebnisse. Die Maschine besteht aus einer kompakten Basis und starren Rohling-Halteeinheit, die mit einem motorisierten Last- und Antriebssystem für einfache Bedienung kommt. Das fortschrittliche Regelheizsystem ermöglicht eine Temperaturregelung von 100 ° C bis 600 ° C mit einer Genauigkeit von +/- 3 ° C. Die Heizpatrone verfügt über einen separaten Kühlkreislauf, der schnelle Reaktionszeiten und stabile Temperaturen ermöglicht. SHIBAURA ICE/RPA 300 verfügt über einen leistungsstarken programmierbaren Controller, der Prozessparameter wie Geschwindigkeit, Temperatur, Strom, Leistung und Druck steuern kann. Der Controller ist in der Lage, bis zu 32 Verarbeitungsrezepte zu speichern, um Prozesse ohne manuelle Eingabe schnell ausführen zu können. Es ist mit einem farbigen Touchscreen und einem erweiterten Bedienfeld ausgestattet, das den Bedienern hilft, ihre Prozessrezepte genau einzurichten und zu überwachen. Die Maschine ist mit einer leistungsstarken Vakuumpumpe ausgestattet, die ein Vakuum bis zu 10-5 Torr aufrechterhalten kann und in einer Reihe von Drücken betrieben werden kann, um die gewünschte Ätz-/Ascheumgebung zu schaffen und zu erhalten. Die Pumpe wird durch einen Vakuumregler geschützt, um das Vakuum für Präzisionsätzen/-aschen aufrechtzuerhalten. SHIBAURA ICE/RPA 300 verfügt außerdem über einen Manometer und Ozon-Ein/Aus-Schalter, die den Betreibern helfen können, ihre Prozesskontrollen aufrechtzuerhalten. Die Maschine wurde unter Berücksichtigung der Strahlensicherheit entwickelt und verwendet Infrarotstrahlungsschilde, um das Risiko einer Exposition gegenüber gefährlichen Werten zu verringern. Die Abschirmungen umfassen Sicherheitsausschnitte und Temperatursensoren, die bei Bedarf die Systemabschaltung einleiten. SHIBAURA ICE/RPA 300 ist perfekt für den Einsatz in Fertigungs-, Medizin- und Forschungsanwendungen. Mit präzisen Ätz-/Aschefähigkeiten ist diese Maschine in der Lage, verschiedene Materialien schnell und genau zu ätzen/zu aschen. Die Maschine ist langlebig, zuverlässig und einfach zu bedienen, was sie zu einer ausgezeichneten Wahl für volumenstarke Prozesse macht.
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