Gebraucht SHIBAURA / SHIBATEC ICE 200 #9404529 zu verkaufen

ID: 9404529
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2006
Etcher, 8" Gases: O2, N2 SMIF Loader APC Pressure control High electric board Power supply: DAIHEN Source microwave power supply: 3 kW KYOSAN Vias RF Power supply: 1 kW 2006 vintage.
SHIBAURA/SHIBATEC ICE 200 ist ein Ätzer/Ascher für Wafer-Level-Prozesse und thermische Prozesse, der in der Halbleiterindustrie weit verbreitet ist. Diese Ausrüstung ist in der Lage, hohe Präzision und Geschwindigkeit für die Waferbearbeitung sowie hochgenaue und schnelle thermische Prozesse bereitzustellen. Das Ätzen/Aschen auf SHIBAURA ICE 200 erfolgt in drei Stufen, um maximale Präzision und Erträge zu gewährleisten. Der erste Schritt ist die Reinigung der Waferoberflächen durch einen Entfettungs- und Waschmittelprozess. Dieser Prozess wird durch eine mehrstufige Wafer-Handhabungseinrichtung optimiert, die berührungsempfindlich und hochgeschwindigkeitsbearbeitungsfähig ist. Nach Beendigung des Reinigungsprozesses erfolgt im nächsten Schritt das Ätzen oder Aschen der Waferoberflächen. SHIBATEC ICE 200 ist für die Verwendung mit einer Vielzahl von Gasen, Plasmagasen und Chemikalien konzipiert und ermöglicht das Ätzen/Aschen einer Vielzahl von Materialien. Der letzte Schritt im Ätz-/Ascheprozess beinhaltet einen Passivierungsprozess, der zum Schutz fertiger Wafer vor Umweltverschmutzung beitragen kann. Passivierung hilft, die Eigenschaften des Materials zu erhalten, sowie seine elektrische und optische Leistung zu erhalten. ICE 200 ist in der Lage, Passivierungsprozesse bereitzustellen, die bis zu fünf Stunden dauern. Um höchste Genauigkeit zu gewährleisten, ist SHIBAURA/SHIBATEC ICE 200 mit einem integrierten Sichtsystem ausgestattet. Dieses Gerät beinhaltet optische Mikroskopie mit einer einstellbaren Auflösung von bis zu fünf Mal der herkömmlichen Vision-Maschine. Dieses Werkzeug ermöglicht auch eine genauere Ausrichtung und Positionierung der Wafer, wodurch das Ätzen/Aschen schneller und präziser durchgeführt werden kann. SHIBAURA ICE 200 ist zudem mit einer hocheffizienten Kühleinrichtung ausgestattet, die eine Abkühlung auf -30 ° C ermöglicht. Dieses Modell hilft, thermische Schäden an Materialien zu verhindern und gleichzeitig einen effizienten Betrieb zu jeder Zeit zu gewährleisten. Zusammenfassend ist SHIBATEC ICE 200 ein Ätzer/Ascher, der für die Waferbearbeitung und thermische Prozesse konzipiert ist. Diese vielseitige Ausstattung ermöglicht ein extrem präzises und schnelles Ätzen/Aschen durch einen dreistufigen Prozess und umfasst ein integriertes Vision-System für höhere Genauigkeit sowie ein effizientes Kühlgerät für zuverlässigere Leistung.
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