Gebraucht SHIBAURA U-ASH8100 #9226215 zu verkaufen

SHIBAURA U-ASH8100 ist eine Hochleistungs-Trockenätz- und Aschemaschine mit ausgezeichneter Prozessflexibilität und Gleichmäßigkeit. Dieses System nutzt Ionenstrahlen und Elektroneneinschlag, um eine Vielzahl von Materialien, darunter Silizium, Low-K und fortschrittliche Photoresists, effizient zu ätzen und zu aschen. Der Ätzer ist mit einer zuverlässigen, einfach zu bedienenden und intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet, die die Verarbeitung einfach und effizient macht. Sie kann mit bis zu drei Bearbeitungskammern ausgebildet und im Einkammer- oder Zweikammerbetrieb betrieben werden. Der Ätzer weist außerdem eine erweiterte Kammerreinigungssequenz auf, die Partikel- und Filmrückstände aus der Verarbeitungskammer effektiv eliminiert und die Prozesssicherheit deutlich verbessert. SHIBAURA U ASH8100 nutzt eine Hochfrequenzspannung von bis zu 2000V, um dünne Filme effektiv zu ätzen und zu aschen. Dies ermöglicht tiefes, gleichmäßiges Ätzen und Aschen von Dünnschichtmaterial in einem weiten Bereich von Verarbeitungstemperaturen. Diese vielseitige Maschine kann entweder mit einem Ein- oder Zweigasinjektor betrieben werden, was eine Vielzahl von Prozessen ermöglicht, einschließlich reaktiver Ionenätzung (RIE), Ionenstrahlätzen (IBE) und ionenstrahlunterstützter thermischer Desorption (IBT). UASH 8100 enthält auch einen Vakuumflansch zur einfachen Integration in andere Vakuumsysteme. Dadurch kann der Anwender modulare Systeme erstellen, die dann automatisiert werden können. Die Ätz- und Aschestationen können auch ferngesteuert und überwacht werden, entweder über RS485 oder ethernetbasierte Kommunikation. U-ASH8100 ist für den Betrieb zwischen 30 mTorr und 2 Tor sowie Temperaturen bis 1000 Grad Celsius ausgelegt. Das Tool ist auch mit einem erweiterten Multifrequenz-Tuning-Modul ausgestattet, mit dem der Benutzer die Ätz-/Aschefrequenz nach Bedarf für bestimmte Anwendungen einstellen kann. Dies verbessert auch die Wiederholbarkeit und Einheitlichkeit der Prozesse und gewährleistet konsistente Ergebnisse. SHIBAURA UASH 8100 ist eine ausgezeichnete Wahl zum Ätzen und Aschen von dünnen Folien und liefert zuverlässige und einheitliche Ergebnisse. Seine intuitive Benutzeroberfläche macht es einfach zu bedienen, und seine Wiederholbarkeit und Flexibilität machen es zu einem idealen Kapital für Industrie- und Forschungsanwendungen. U ASH8100 ist ein ideales Modell für Anwender, die eine zuverlässige und effiziente Ätz-/Aschelösung benötigen.