Gebraucht SINGULUS / STANGL Singular XP ISE #293752400 zu verkaufen
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ID: 293752400
Weinlese: 2015
ICP-PECVD System
IR Heater station
(2) EDWARDS iXH1820 Pumps with power supply
Profibus D397-52-880 module
EDWARDS iXL120 Turbomolecular pump
(8) EDWARDS STP-iX3006C Turbomolecular pumps
(4) EDWARDS STP-1003C Turbomolecular pumps
SIEMENS PLC
FESTO Pneumatics
HAMLET Valve
BROOKS AUTOMATION Mass Flow Controller (MFC)
(20) MITSUBISHI MR-J3 Servo amplifiers
(4) ADVANCED ENERGY Apex 5708009 HF Generators
Sensors
LENZE Servomotors
2015 vintage.
SINGULUS/STANGL Singular XP ISE ist eine hochmoderne Ätz-/Aschemaschine, die den anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Dieses hochentwickelte Werkzeug ist in der Lage, präzise und einheitliche Ätz-/Ascheprozesse auf Silizium-Wafern bereitzustellen, die einen hohen Durchsatz und eine außergewöhnliche Prozesskontrolle bieten. Mit seiner innovativen Technologie und seinem robusten Design bietet STANGL Singular XP ISE überlegene Leistung und Zuverlässigkeit und ist damit eine ideale Lösung für Halbleiterhersteller, die ein Höchstmaß an Produktivität und Effizienz in ihren Produktionsprozessen erreichen möchten. SINGULUS Singular XP ISE verfügt über eine hochmoderne Prozesskammer, die den Ätz-/Ascheprozess für maximale Leistung und Wiederholbarkeit optimieren soll. Die Kammer ist mit fortschrittlicher Plasmaerzeugungstechnologie ausgestattet, die eine gleichmäßige Verteilung von Ionen und Radikalen über die Waferoberfläche gewährleistet, was zu konsistenten Ätz-/Ascheraten und Gleichmäßigkeit führt. Dieses Maß an Präzision und Kontrolle ist unerlässlich, um die strengen Prozessanforderungen von fortschrittlichen Halbleiterbauelementen mit kleineren Merkmalsgrößen und höheren Dichten zu erfüllen. Eines der Hauptmerkmale von Singular XP ISE ist seine vielseitige Prozessfähigkeit, die eine breite Palette von Ätz-/Ashing-Anwendungen ermöglicht. Das System unterstützt verschiedene Prozessgase, darunter Chemikalien auf Fluorbasis zum Siliziumätzen und Chemikalien auf Sauerstoffbasis zum organischen und anorganischen Aschen. Diese Flexibilität ermöglicht es Halbleiterherstellern, die Ätz-/Ascheprozesse an die spezifischen Anforderungen ihrer Gerätekonstruktionen anzupassen und eine optimale Leistung und Ausbeute zu gewährleisten. Zusätzlich zu seinen fortschrittlichen Prozessfähigkeiten ist SINGULUS/STANGL Singular XP ISE mit einer Reihe intelligenter Funktionen ausgestattet, die die Produktivität und Benutzerfreundlichkeit verbessern. Das Gerät ist für einen hohen Durchsatz ausgelegt, mit schnellen Pump- und Spülzyklen, die Ausfallzeiten zwischen den Prozessabläufen minimieren. Es verfügt auch über eine fortschrittliche Endpunkterkennungstechnologie, die eine präzise Kontrolle des Ätz-/Ascheprozesses ermöglicht, optimale Ergebnisse gewährleistet und das Risiko von Überätzen oder Unterspülen reduziert. STANGL Singular XP ISE ist nach höchsten Qualitäts- und Zuverlässigkeitsstandards gebaut, mit einer robusten Konstruktion, die den Steifigkeiten der Halbleiterherstellungsumgebungen standhält. Die Maschine ist für langfristige Leistung und niedrige Betriebskosten konzipiert, mit leicht austauschbaren Komponenten und minimalen Wartungsanforderungen. Dadurch wird sichergestellt, dass sich Halbleiterhersteller auf SINGULUS Singular XP ISE verlassen können, um eine konsistente und zuverlässige Leistung zu erzielen, Ausfallzeiten zu reduzieren und die Produktivität zu maximieren. Insgesamt ist Singular XP ISE ein modernes Ätz-/Ascherwerkzeug, das außergewöhnliche Leistung, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit für Halbleiterherstellungsanwendungen bietet. SINGULUS/STANGL Singular XP ISE ermöglicht mit seiner fortschrittlichen Technologie, präziser Prozesssteuerung und intelligenten Funktionen den Halbleiterherstellern hohe Erträge und Qualität in ihren Produktionsprozessen zu erzielen, die anspruchsvollen Anforderungen der Halbleiterindustrie zu erfüllen und dem Wettbewerb auf dem heutigen schnelllebigen Halbleitermarkt voraus zu sein.
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