Gebraucht SORONA SIE-3102 #9366568 zu verkaufen
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SORONA SIE-3102 ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die in der Lage ist, präzises und genaues Ätzen und Aschen für eine Vielzahl von Substraten bereitzustellen. Diese Maschine verwendet eine horizontal und vertikal ausgerichtete Ätztabelle, um eine präzise Positionierung und optimale Ätzergebnisse zu gewährleisten. SIE-3102 verfügt über ein eingebautes Trockenreinigungssystem, das Schutt entfernt, um eine saubere Vakuumätz- und Ascheumgebung zu gewährleisten. Der Ätztisch ist in der Lage, einen inneren Ätzbereich mit einem Durchmesser von bis zu 5 Zoll bereitzustellen und hat eine Ätzrate von 0,005 mils/min bis 20 mils/min. SORONA SIE-3102 verfügt über eine Vakuumkammer, die Ionenpumpen nutzt, um einen Vakuumspiegel von -28 Torr zu erreichen, um große Substrate ohne Verschmutzung oder Beschädigung zu ätzen. Die Maschine hat auch eine gleichzeitige thermische Siliziumoxid-Entfernungsfähigkeit ähnlich dem reaktiven Ionenätzen und kann Temperaturen bis zu 1300 ° C erreichen. SIE-3102 verwendet ein Magnetfeld, um eine hohe Selektivität und hohe Spiegelbilddefinition mit E-Strahl und Ionenstrahlätzen oder -aschen zu erzielen. Diese Maschine ist in der Lage, in Tiefen bis zu 0,5um zu ätzen und eignet sich für den Einsatz auf Objekten mit hohem Seitenverhältnis. Es weist außerdem eine thermische Oxidabtragsrate von bis zu 20 nm/min sowie eine Wafer-Rückseitenpassivierungsrate von bis zu 10 nm/min auf. Das Ätzen/Aschen erfolgt unter einer mehrachsigen Steuerungsumgebung, die benutzerfreundlich und einfach ist. SORONA SIE-3102 verfügt zudem über eine integrierte Bildverarbeitungssoftware, mit der Benutzer die Ätzparameter anpassen können, um die genauesten Ergebnisse zu erzielen. Mit Hilfe dieser Software können Anwender leicht Ätzmuster mit High Definition und Treue erzeugen. Darüber hinaus verfügt die Maschine über ein Echtzeit-Überwachungssystem, mit dem Benutzer den Ätzprozess beobachten können, während sie alle während des Ätzprozesses erforderlichen Anpassungen vornehmen. Insgesamt ist SIE-3102 eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die präzises und genaues Ätzen für eine Vielzahl von Substraten bereitstellen kann. Diese Maschine ist benutzerfreundlich und einfach und verfügt auch über ein einstellbares Vakuumsystem, eine thermische Oxidentfernungsfähigkeit und eine Bildverarbeitungssoftware für genaue Ergebnisse. SORONA SIE-3102 eignet sich für den Einsatz auf Substraten unterschiedlicher Größen und Formen und kann verwendet werden, um hochauflösende Bilder mit hoher Treue zu erstellen.
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