Gebraucht SPP MUC 21-098 #9239652 zu verkaufen

SPP MUC 21-098 ist ein spezialisiertes Gerät, das hauptsächlich in der Halbleiterindustrie zum Ätzen und/oder Aschen verwendet wird. Es hat eine dreidimensionale Kammerkonstruktion, mit einem großen Handhabungsvolumen mit der Fähigkeit, Proben mit einem Durchmesser von bis zu 6 "zu behandeln - was die Durchsatzfähigkeit erheblich verbessert. Der Ätzer/Asher bietet eine Vielzahl von Automatisierungsoptionen, wie computergesteuerte Verarbeitung und offene Architektur für Robotik und Datenmanagement. Es ist mit einem dreiquelligen zweistufigen HF-Generator mit einem Frequenzbereich von 13,56 MHz bis 50 MHz ausgestattet und der Fähigkeit, einen optimierten Prozess durchzuführen, um wiederholbare Ergebnisse zu erzielen. Die Plasmaquelle ist sowohl für ICP- als auch für kapazitiv gekoppelte Betriebsarten ausgelegt. Die Gase werden durch ein Quarzrohr-induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) -Merkmal erwärmt, mit einer unabhängigen Steuerung der Leistung zum Zentralstab und den Einschließungsringen, die eine optimierte Prozessüberwachung ermöglicht. Der Aschevorgang beruht auf einer RF-basierten Ätzquelle sowie einem magnetogetriebenen Gasverteilungssystem für eine gleichmäßige Substratätzung in der gesamten Kammer. Eine automatisierte Verschlussoption sorgt zudem für Präzision und Wiederholbarkeit, wobei bei Bedarf zwischen vier verschiedenen Richtungen gewechselt werden kann. MUC 21-098 enthält auch eine Multimodus-Überschallquelle, um höhere Ätzraten und eine genaue Profilsteuerung zu erreichen. Die Überschalldüse arbeitet in drei Modi, die auf die Anforderungen des Prozesses zugeschnitten sind und saubere, glatte Wände und runde Merkmalswände ermöglichen. SPP MUC 21-098 unterstützt zusätzlich eine optionale Probenentnahme mit einer Präzisionsstufenbewegungsvorrichtung, die Probenhöhen von bis zu 25 mm unterstützen kann. Die Probe hilft, einheitliche Ätz- und gleichmäßige Verbindungsleitungen zu gewährleisten. Schließlich weist die MUC 21-098 ein eingebautes Sicherheitssystem auf, das aus einer Druckverriegelungstür und einem Näherungssensor besteht. Dadurch wird sichergestellt, dass der Ätzer/Ascher stets sicher und sicher betrieben wird.