Gebraucht SPPT / SPTS CPX-APS #293648886 zu verkaufen

SPPT/SPPT/SPTS CPX-APS ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der für Prozesse wie Siliziumätzen, SILC-Ätzen, Wolframätzen und Aluminiumätzen verwendet wird. Diese Ausrüstung eignet sich perfekt für fortschrittlichste Ätzprozesse, einschließlich Prozesse mit hohem Seitenverhältnis und hoher Selektivität. Es arbeitet mit einer einzigartigen Kombination von Hochfrequenz (RF) und Gleichstrom (DC) Stromquellen, die eine höhere Prozesskontrolle und Genauigkeit ermöglichen. SPPT CPX-APS ist ein vollständig integriertes, robustes Ätzkammersystem, das zum Ätzen und Veraschen von Thin Film Deposition (TFD) -Prozessen in einer einzigen Einheit konzipiert ist. Es ist mit einem benutzerfreundlichen Touchscreen Human Machine Interface (HMI) -Steuerung ausgestattet, die leicht für mehrere Ätz-/Aschesequenzen in einem einzigen Prozesslauf programmiert werden kann. Dieser Ätzer/Ascher bietet eine breite Palette von Prozessparametern, darunter Kammertemperaturen bis 250 * C, Ätz-/Aschedrücke bis 187 mTorr und eine Kombination aus Argon/Sauerstoffchemie für optimale Prozessleistung. SPTS CPX-APS bietet hervorragende Prozessgleichmäßigkeit, Wiederholbarkeit und Geschwindigkeit für die Herstellung auf IC-Ebene. Der etcher/asher zeigt 200nm Oxydationsratenplaniereneinheit, die das sehr einheitliche Ätzen von Eigenschaften berücksichtigt, ohne Geschwindigkeit zu opfern. Die Maschine ist auch in der Lage, tiefe Graben Ätzen und Seitenverhältnisse bis zu 10:1 und höher. Zusätzlich gibt es eine 3D-Ätz-/Profilfähigkeit mit optimierter Prozesssteuerung, um sehr hohe Prozesswiederholbarkeit und Präzision bei minimalem IC-Abbau zu erzeugen. CPX-APS wurde entwickelt, um die strengen Sicherheitsanforderungen von ICs zu erfüllen. Das Tool verfügt über eine innovative Sicherheitsabschirmung, um Prozessstörungen genau zu erkennen und Echtzeit-Benachrichtigungen bereitzustellen. Es verfügt auch über ein integriertes Vakuumverriegelungsmodell, das eine nicht löschbare IC-Beschädigung durch automatisches Abschalten der Kammer im Falle einer Prozessüberätzung oder -vergasung verhindert. SPPT/SPTS CPX-APS ist auch mit einer Vielzahl fortschrittlicher Diagnosetools ausgestattet, einschließlich Echtzeitdiagnose, Maschinen- und Prozesszustandsdiagnostik und Prozessdaten. Die fortschrittlichen Eigenschaften und Fähigkeiten der Ausrüstung machen es für die Produktion von IC mit hohem Volumen und extreme Prozessanforderungen sehr geeignet. Darüber hinaus kann die Funktion des Kantenisolierungssteuerungssystems die langsame Kantenbewegung verringern, einen zusätzlichen Kantenschutz bieten und die Zuverlässigkeit des Geräts erhöhen. Abschließend ist SPPT CPX-APS ein leistungsstarker und sehr vielseitiger Ätzer/Ascher, der erweiterte Ätz- und Aschefunktionen mit überlegener Prozesssteuerung bietet. Es ist mit erweiterten Sicherheitsfunktionen und einer breiten Palette von benutzerfreundlichen Funktionen entworfen, so dass es perfekt für die IC-Herstellung. Das Gerät bietet überlegene Prozesswiederholbarkeit und -genauigkeit sowie hervorragende Prozessleistung und -gleichmäßigkeit.