Gebraucht SPPT / SPTS VPX Pegasus #293648861 zu verkaufen

SPPT/SPTS VPX Pegasus ist eine fortschrittliche Ätz- und Ascheausrüstung, die für die hochauflösende Photolithographieverarbeitung verwendet wird. Dieses von SPIC Technologies entwickelte Gerät dient dazu, Materialien wie Silizium, SiO2 und Polymere sehr präzise und zuverlässig zu ätzen und zu aschen. SPPT VPX Pegasus verfügt über eine Reihe von Funktionen, darunter eine integrierte 12-Küvetten-Positionierstufe, eine zuverlässige Quarz-Vakuumkammer, eine Mehrzonenoxidation und ein hochauflösendes Kapazitätsextraktionslaserinterferometer (CELIF). Alle diese Komponenten sorgen für Genauigkeit und Qualität beim Ätzen und Aschen von Materialien. Die 12-Küvetten-Positionierstufe sorgt dafür, dass alle geätzten und ashten Materialien vor der Verarbeitung perfekt ausgerichtet sind. Dies geschieht durch eine Vielzahl von Einstellparametern, einschließlich Positionsauflösung und Präzision, Beschleunigung, Geschwindigkeit und Linearität. Die Quarzvakuumkammer hingegen bietet eine zuverlässige und sichere Umgebung für den Ätz- und Aschevorgang. Es besteht aus einer massiven Basisplattform und Edelstahlwänden, die verhindern, dass gefährliche Dämpfe in den Arbeitsraum gelangen. Darüber hinaus ist die Quarzvakuumkammer mit einem automatisierten Vakuumsystem und einem mit Graphit gefüllten Innenraum ausgestattet, was eine extrem lange Lebensdauer gewährleistet. Das High-End CELIF Laserinterferometer wird zur präzisen hochauflösenden Kapazitätsextraktion verwendet. Seine erweiterte Abtastfähigkeit ist in der Lage, Oberflächenverunreinigungen im Prozess zu messen, während gleichzeitig Messrückkopplung. Dadurch wird sichergestellt, dass beim Ätzen und Aschen höchste Genauigkeit erreicht und eingehalten wird. Schließlich ist SPTS VPX Pegasus-Einheit auch in der Lage, Multi-Zone-Oxidation durch seine proprietäre Multi-Zone-Oxidationstechnologie. Mit dieser Technik kann der Anwender eine Vielzahl von thermischen Oxidationsverfahren auf verschiedene Arten von Substraten und Materialien anwenden, wodurch die gewünschte Schichtdicke und Ätz-/Ascheergebnisse erzielt werden. Insgesamt ist VPX Pegasus eine leistungsstarke und zuverlässige Ätz- und Aschemaschine. Durch seine Vielzahl von Funktionen und modernsten Technologien ist es in der Lage, präzise und konsistente Ergebnisse zu liefern. Vom Ätzen über das Aschen bis hin zur Mehrzonenoxidation wird SPPT/SPTS VPX Pegasus garantiert jedes Ätz- und Ascheprojekt zu einem erfolgreichen.