Gebraucht SPPT / SPTS VPX Pegasus #293648863 zu verkaufen

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ID: 293648863
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2011
System, 6" (2) OSAKA Vacuum turbo pumps (3) Chillers (2) Chambers Platform console Chamber console Scroll pump 2011 vintage.
SPPT/SPTS VPX Pegasus ist ein Ätzer/Ascher, der von SPPT Technologies, einem führenden Innovator in fortschrittlichen Fertigungslösungen für die Halbleiter- und verwandte Industrien, entwickelt wurde. Dieser vielseitige Ätzer/Ascher wurde entwickelt, um Oxidations-, Metallätz-, Abscheidungs- und Planarisierungsprozesse durchzuführen und Substratschäden und Prozessvariabilität zu minimieren und gleichzeitig gleichbleibende Qualität über mehrere Substrate zu gewährleisten. SPPT VPX Pegasus verwendet einen Mikropositionierer, mit dem Benutzer die Rate von Ätzen, Oxidation und Planarisierung genau steuern können, während Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit im Prozess beibehalten werden. Diese Funktion ermöglicht eine schnelle und genaue Prozesskalibrierung, Steigerung des Durchsatzes und der Genauigkeit. Darüber hinaus tragen die innovative Vakuumausrüstung und das Kammerdesign des Pegasus dazu bei, Kontaminationen zu reduzieren und optimale Plasmabedingungen zu gewährleisten, was überlegene Ätz- und Oxidationsergebnisse ermöglicht. SPTS Pegasus verfügt über ein leistungsstarkes, aber einfach zu bedienendes Steuerungssystem, das eine präzise Prozesssteuerung und Geräteüberwachung ermöglicht. Die benutzerfreundliche Oberfläche sorgt für schnelle und genaue Prozessparameter und bietet gleichzeitig einfachen Zugriff auf erweiterte Maschinen- und Prozesseinstellungen. Dies ermöglicht Wiederholbarkeit und verbesserte Prozessoptimierung. Für mehr Qualität und Zuverlässigkeit verfügt SPPT/SPTS Pegasus auch über integrierte Sicherheitsmechanismen, einschließlich automatischer Prozesssicherheitsprüfungen und optionaler Sicherheits- und Verfahrensalarme. Um höchste Sicherheitsstandards zu gewährleisten, werden alle Sicherheitsbedingungen vom Werkzeug überwacht und eventuelle Mängel automatisch für Korrekturmaßnahmen erkannt. SPPT Pegasus ist ein Allzweck-Ätzer/Ascher, der in der Lage ist, sowohl Nass- als auch Trockenätzen, Oxidation und Abscheidung sowie Planarisierungsprozesse durchzuführen. Mit seinem breiten Spektrum an Prozessfähigkeiten haben Anwender die Möglichkeit, komplexe Strukturen auf einer Vielzahl von Substraten und Materialien zu erstellen. SPTS Pegasus ist auch so konzipiert, dass es konfigurierbar ist, so dass Benutzer das Asset an ihre spezifischen Bedürfnisse anpassen können. Dies macht es zu einer idealen Wahl für diejenigen, die ein zuverlässiges und effizientes Verfahren zum Ätzen und Planarisieren verschiedener Materialien und Substrate benötigen.
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