Gebraucht SPS Plamax #293664085 zu verkaufen

SPS Plamax ist ein Hochleistungs-Ätz- und Aschesystem, das bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen verwendet wird. Es handelt sich um eine Hochtemperatur-, automatisierte Ätz- und Ascheeinheit, die die Anwendung sowohl kurzfristiger als auch hochtemperaturgestützter Asche erleichtert. Plamax besteht aus drei Hauptkomponenten: einem Ofen, einem HF-Generator und einem RIE-Werkzeug. Der Ofen hat einen Temperaturbereich von bis zu 1100 ° C und bietet schnelle Temperaturrampen mit präziser Steuerung. Es umfasst auch vertikale Aufzugsbearbeitung, die es dem Werkzeug ermöglicht, eine Vielzahl von Substraten im Bereich von 200mm bis 400mm zu verarbeiten. Der HF-Generator bietet eine variable Leistungsabgabe, wodurch er in der Lage ist, dickes Material zu ätzen und zu veraschen. Der HF-Generator verfügt auch über eine breite Palette von Prozessgasgemischen von Ar/O2 bis SF6/O2, was eine hohe Kontrolle über Ätz- und Ascheergebnisse ermöglicht. Das RIE-Tool bietet eine präzise Steuerung der Ätztiefe und die Glätte von Ätzen und Aschen, was höhere Seitenverhältnisse und eine bessere Aspektkontrolle ermöglicht. Es verfügt auch über ein automatisiertes Prozessleitsystem, das hochpräzise, wiederholbare Prozesse und maximale Wiederholbarkeit und Konsistenz ermöglicht. SPS Plamax kann sowohl Batch- als auch Einzelwafer-Konfiguration. Der automatische Kassetten-zu-Kassetten-Transfer ermöglicht ein nahtloses Wafer-Handling und einen schnellen Betrieb. Zur Steuerung der Substratposition stehen spezielle Module zur Verfügung, die eine präzise Ausrichtung ermöglichen und die Auswirkungen einer unebenen Waferstruktur minimieren. Plamax wurde entwickelt, um hohe Ausbeute, hohe Genauigkeit und schnelle Ätz- und Aschebearbeitung zu bieten. Seine überlegene Prozesssteuerungsfähigkeit und zuverlässige Systemleistung machen es zu einer bevorzugten Wahl für die Geräteherstellung. Mit seinen vielseitigen Prozessfähigkeiten kann SPS Plamax sowohl zum Ätzen als auch zum Aschen einer Vielzahl von Materialien in verschiedenen Dicken auf verschiedenen Substraten eingesetzt werden.