Gebraucht SPTS MPX ICP #9155822 zu verkaufen

SPTS MPX ICP (Inductively Coupled Plasma Etcher/Asher) ist ein hochmodernes Ätzwerkzeug zur Herstellung von Ultraminiaturstrukturen im Submikron-Maßstab. Es ist eines der vielseitigsten Werkzeuge in der Halbleiterindustrie, das sowohl zum Ätzen als auch zum Aschen (Verdünnen) von Wafern geeignet ist. MPX ICP verwendet induktiv gekoppelte Plasmatechnologie, um Material von der Oberfläche eines Wafers zu entfernen. Ein Hochfrequenzgenerator sendet einen Wechselstrom an eine ein elektrisches Feld erzeugende Antennenspule aus. Dieses elektrische Feld induziert dann einen elektrischen Strom im Plasma - ein Gas, das positiv und negativ geladene Teilchen enthält - wodurch es sich erwärmt und ionisiert, Licht und extreme Temperaturen im Bereich von 10.000 ° C emittiert. Das hochtemperaturgasionisierte Plasma wird verwendet, um eine genaue und wiederholbare Ätzsteuerung zu erreichen, da der Prozess sehr selektiv ist, wenn es um Ätzraten und Profile geht. Für das Ätzen verschiedener Materialien und Strukturen stehen mehrere Plasmarezepte zur Verfügung, darunter Si, SiO2, GaAs und Cr. Die Ätzraten von Plasmaverfahren liegen in der Regel zwischen 0,1 und 1000 Nanometern pro Minute; Ermöglichen des Ätzens von komplexen Merkmalen im Sub-Mikron-Bereich. SPTS MPX ICP verfügt auch über eine Reihe von Prozesssteuerungsfunktionen und kann eine Reihe von Substratgrößen von 2 - 8 "im Durchmesser verarbeiten. Es bietet auch eine Vielzahl von Prozessparametern zur Manipulation wie HF-Leistung, ICP-Druck, Gasfluss und Ätzzeit. Das System ist in der Lage, sowohl konstante als auch wechselnde Ätzverfahren bereitzustellen und verfügt über einen optionalen Wafertemperaturregler, der verwendet wird, um genaue Ätzprofile zu gewährleisten und den mikrowellenfähigen Effekt zu minimieren. Darüber hinaus bietet MPX ICP viele Vorteile wie geringe Schäden an der Waferoberfläche, hochpräzises Aschen, gleichmäßiges Ätzen, saubere Oberflächentopographie, hohe Ausbeute und minimale Verschmutzung der Kammer. Die Fernüberwachung des Systems und die schnelle Rezeptentwicklung steigern auch seine Leistung und machen es zu einer zuverlässigen Option für die meisten Ätz- und Veraschungsanforderungen. Insgesamt ist SPTS MPX ICP ein sehr nützliches Werkzeug für Ätz- und Ascheoperationen in der Halbleiterindustrie. Es ist eine perfekte Wahl für die Mikrofertigung der kompliziertesten Strukturen, und seine Vielseitigkeit und Palette von Prozessparametern bietet breit gefächerte Präzisionsfunktionen.