Gebraucht SPTS Multiplex ASE ICP #9158122 zu verkaufen

SPTS Multiplex ASE ICP ist ein Plasmaätzer aus der Multiplex ASE Produktreihe von SPTS Technologies Ltd. Basierend aus Europa und mit langjähriger Expertise in der Ätz- und Abscheidungsindustrie bietet SPTS ein voll ausgestattetes Werkzeugset zum Plasmaätzen und Aschen von Halbleitersubstraten. Multiplex ASE ICP ist ein induktiv gekoppelter Plasma (ICP) Ascher/Ätzer mit einem einzigartigen kompakten Design, das die neueste Einzelkammer RF- und ICP-Source-Technologie verwendet. Das Produkt ist in der Lage, komplexe Ätz-/Ascheprozesse auf mehreren Substraten gleichzeitig bei Prozesstemperaturen von bis zu 400 ° C durchzuführen. Das Werkzeug ist auch mit einer proprietären Abschreck- und Reinigungsausrüstung und einem ancryogenen System ausgestattet, das die Wasserkondensation minimiert und einen überlegenen Ascheprozess ermöglicht. SPTS Multiplex ASE ICP ist ein ideales Werkzeug für 2D- und 3D-Gerätestrukturen sowie ultraseichte Verbindungsprozesse (USJ). Seine ICP-Quelle bietet ausgezeichnete Ätz-/Ascheeinheitlichkeit und Prozesswiederholbarkeit, was einen hohen Durchsatz und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht. Die RF-Quelle ist mit einer Auto-Tune-Einheit komplett, die Tuning und Frequenzoptimierung Zeit eliminiert. Diese Maschine sorgt auch für stabiles und konsistentes Ätzen/Aschen und minimiert gleichzeitig die Belastung des Substrats mit HF-Energie. Die ICP-Quelle und die HF-Quelle von Multiplex ASE ICP können präzise konfiguriert werden, um schwierige Ätz-/Ascheprozesse optimieren zu können. Das Werkzeugset verfügt auch über eine fortschrittliche Druck- und Temperaturregelung, so dass es eine präzise Prozesskontrolle über Substratmaterialeigenschaften und Prozessgleichförmigkeit ermöglicht. SPTS Multiplex ASE ICP hat eine breite Palette von Funktionen, die eine breite Palette von Ätz-/Ascheanwendungen bieten. Es hat eine High-Density-Futter Top-Beschichtung, die in der Lage ist, hochdichte ICCD-Ätzprozesse und das Werkzeug ist auch in der Lage, einige der anspruchsvollsten Metalle wie Wolfram, TiN, Kupferoxid, Mo und Co. Dieses erweiterte Toolset bietet auch eine flexible Anpassung der Prozesszeiten, so dass Benutzer ihre Verarbeitungs-Workflows an ihre spezifischen Anforderungen anpassen können. Insgesamt ist Multiplex ASE ICP ein leistungsfähiges, kompaktes und vielseitiges Werkzeugset, das Anwendern die Möglichkeit bietet, eine breite Palette verschiedener Substratmaterialien zu ätzen und komplexe Ätzprozesse auf mehreren Substraten gleichzeitig durchzuführen. Die fortschrittlichen Prozessleitsysteme und präzisen Ätzparameter machen es zu einem idealen Werkzeug für 2D- und 3D-Gerätestrukturen sowie ultraseichte Verbindungsprozesse (USJ).