Gebraucht SPTS MVD150 #9280194 zu verkaufen

SPTS MVD150 ist eine fortschrittliche Ätz- und Aschemaschine, die für eine Reihe von Anwendungen wie die Herstellung von MEMS, Photonen und 3D-Integration entwickelt wurde. Mit Hochfrequenz- (RF) -Technologie bei Frequenzen von 25 MHz und 130 MHz ermöglicht sie eine hochselektive und präzise Materialentfernung für die Strukturierung über einen weiten Bereich temperaturgesteuerter Prozesstemperaturen von - 50˚C bis 1000˚C. Zu den Hauptmerkmalen des Systems gehören eine beispiellose Kammergröße von 300x300x150mm, eine Vakuumeinheit mit einem hohen Gasstrom von bis zu 1000slm, ein Magnet- und Massenstromregler zur präzisen Durchflussregelung und eine Remote-Substrattechnologie für die Langzeitverarbeitung. Die Maschine bietet eine fortschrittliche Prozesssteuerung, einschließlich der Computersteuerung der Prozessparameter. Es ist in der Lage, kontinuierliche Rückkopplung und Überwachung durch eine Reihe von Sensoren und Monitoren, um eine enge Steuerung der kritischen Wafer Temperatur, Druck und Positionierung. Zusätzlich können mehrere Prozeßregelparameter, wie Kammerdruck, HF-Leistung und Ätztiefe, programmiert und optimiert werden, um überlegene Ergebnisse zu erzielen. Das Werkzeug ist auch mit einer Reihe von Ätz- und Aschechemie-Abgabesystemen ausgestattet, die die vielseitige Fähigkeit bieten, die Chemikalie zu wählen, die für das genau entwickelte Ätzen und Aschen benötigt wird. Es wurde optimiert, mit einer umfangreichen Palette von Prozesschemien zu arbeiten, um den Prozess für spezifische Materialkombinationen zu optimieren. Darüber hinaus wurde die Anlage getestet und qualifiziert, um eine Vielzahl von Industriestandards zu erfüllen, so dass sie strenge Qualitäts- und Sicherheitsanforderungen erfüllt. Es ist für optimale Wiederholbarkeit, Sauberkeit und niedrige Betriebskosten mit Zertifizierungen wie ANSI/RIA NIST-2011, ISO 9001:2015, Pacific Council Chambers (PCC) konform und SEMI S2 konform konzipiert. Der Niederdruckmodus (LPV) ermöglicht einen konsistenten und präzisen Betrieb während der Veraschungsprozesse und trägt zur Reduzierung von Prozess- und statistischen Schwankungen bei. Schließlich hat das Modell auch eine Reihe von Unterstützung für Produktionsmaßstabsätzen und -veraschen, einschließlich einer Protokollbibliothek, einer Fernüberwachungsausrüstung und automatisierten Be-/Entladesystemen. MVD150 Ätzsystem ist eine ideale Wahl für Ingenieure und Hersteller auf der Suche nach einer leistungsfähigen und präzisen Ätz- und Ascheeinheit, die eine Vielzahl von Materialien und Prozessen bewältigen kann. Es bietet einen hochmodernen Ansatz für die Ätz-/Ascheproduktion, der konsistente und wiederholbare Ergebnisse ermöglicht und gleichzeitig Zeit, Ressourcen und Geld spart.