Gebraucht SPTS Omega FXP #9192160 zu verkaufen

SPTS Omega FXP Ätzer ist eine hochmoderne Aschemaschine, die für fortschrittliche Anwendungen der Oberflächenmikrobearbeitung entwickelt wurde. Es ist in der Lage, verschiedene Substrate wie Silizium, Siliziumdioxid oder Titannitrid mit ausgezeichneter Schichtgleichförmigkeit und Partikelkontrolle zu verarbeiten. SPTS OMEGA FXP Ätzer umfasst eine Kombination aus mechanischen, chemischen und Plasmaprozessen, um eine präzise und gleichmäßige Asche einer Vielzahl von Dünnschichtmaterialien zu liefern. Diese magnetischen und/oder elektrostatischen Verfahren sind hochgenau und können zum Ätzen von 3D-Oberflächen oder flachen, dünnen Schichten verwendet werden. Der Ätzer umfasst ein X-, Y-, Z-Bewegungssystem und eine Hochfrequenzspule. Die Bewegungseinheit X, Y, Z ermöglicht die mechanisch verstellbare Stufe und bietet eine hohe Wiederholbarkeit, während die HF-Spule je nach Substrattyp eine hervorragende Präzision und Tiefe bietet. Omega FXP Ätzer implementiert eine starke Dual-direktionale Ätzung. Es verwendet ein zweistufiges, sequentielles Verfahren, das zuerst das Substratmaterial schichtweise wegschneidet und dann eine dünne, gleichmäßige Oxidschicht abscheidet, die Unregelmäßigkeiten ausgleicht. Dieser zweidirektionale Ätzprozess trägt dazu bei, die Neufassung von laserabtragenden Kohlenstoffquellen zu minimieren. SPTS-OMEGA FXP ist mit einer Gasinjektionsmaschine ausgestattet, die je nach Größe des Substrats eine präzise Gasdosierung ermöglicht. Das Werkzeug ist in der Lage, bis zu 400 mbar Sauerstoffdruck und einen partiellen Sauerstoffstrom zu erreichen, der von 25 bis 30 slm einstellbar ist. Dies sorgt für eine optimale Materialabfuhr bei gleichzeitiger Minimierung des Schmutzaufbaus innerhalb der Kammer. Der Ätzer verfügt über einen plasmaverbesserten Ätzstandard und einen plasmaverbesserten Oxidationsprozess. Die plasmaverbesserte Ätzung ist ein hochenergetisches, niederdruckreiches Verfahren, das in der Lage ist, Überätzschichten innerhalb von 0,3 Mikrometern mit großer Genauigkeit und Oberflächengleichförmigkeit zu entfernen. Die plasmaverbesserte Oxidation erhöht den Sauerstoffklebekoeffizienten, was den Aschevorgang verbessert. Dies hilft, die Zeit drastisch zu reduzieren. SPTS-SPTS Omega FXP Ätzer ist vielseitig, einfach zu bedienen und bietet flexible und anpassbare Parameter, die dazu beitragen, den Weg für fortschrittliche Technologien in der Mikrobearbeitung zu ebnen. Die Kombination aus hoher Präzision, großem Durchsatz und Sauberkeit hilft, ein erstklassiges Produkt effizient und kostengünstig zu liefern.