Gebraucht SPTS PRIMAXX #293810530 zu verkaufen

SPTS Primaxx ist eine präzise Trockenätz- und Aschelösung, die für die anspruchsvollsten Anforderungen an die Mikrobearbeitung geeignet ist. Primaxx nutzt eine zuverlässige Substratrotationskomponente zur präzisen Steuerung der Ätzchemie und Substrattemperatur, was zu einem gleichbleibend hochwertigen Produkt führt. Mit dem Zusatz eines Low Stress Wafer Halters kann SPTS Primaxx Silizium und Verbundmaterialien bis 200 mm Durchmesser Wafer verarbeiten. Primaxx basiert auf der neuesten Hardware und Software, die eine breite Palette von Prozessfunktionen und Flexibilität ermöglicht. Ein einzigartiges Menü für die Prozessflusssteuerung ermöglicht es dem Benutzer, einfach ein einzigartiges Rezept auszuwählen und es über mehrere Wafer zu wiederholen. SPTS Primaxx hat ein fortschrittliches, automatisches Pumpenrezirkulationsmanagement, das die manuelle Auffüllung von Ätzchemikalien überflüssig macht. Primaxx ist für die Produktion mit hohem Durchsatz in Forschung und Produktion konzipiert. Das System verfügt über eine breite Palette von Ätzrezepten, wodurch die notwendigen Voraussetzungen für eine detaillierte Strukturierung geschaffen werden. Mit der Ätztechnologie entfällt auch das häufige Schrubben, was eine verbesserte langfristige Ätzgenauigkeit gewährleistet. SPTS Primaxx umfasst auch ein offenes architektonisches, PC-basiertes Prozessleitsystem mit einer ganzen Reihe von Prozess- und Diagnosetools zur Einstellung von Ätz- und sauberen Parametern. Primaxx ist ein vielseitiger, robuster Ätzer/Ascher mit allen Funktionen, die Profis benötigen, um eine hohe Leistung zu gewährleisten - einschließlich einer einstellbaren Spaltumformung, einer einstellbaren Gasdurchflussregelung und einer einstellbaren Drucksteuerungseinstellung - und gleichzeitig Verbrauchskosten zu minimieren sowie die Manipulation von Wafern zu maximieren. Es ist auch kompatibel mit verschiedenen Führungswagen und Waferträger, mit regelmäßiger Wartung gewährleistet, dass SPTS Primaxx die höchsten Standards erfüllt.