Gebraucht SPTS PRIMAXX #293811099 zu verkaufen

SPTS Primaxx ist ein fortschrittliches Etch/Ash-Prozesswerkzeug, das mehrere Waferbearbeitungsfunktionen auf einer einzigen Plattform bietet. Das innovative Design und die fortschrittliche Technologie ermöglichen niedrige Gesamtbetriebskosten und sind somit ein ideales Prozesswerkzeug für die Halbleiterindustrie. Das Gerät verfügt über eine einzigartige Low Power Plasma Etch/Asche gekoppelt mit einem hohen Durchsatz reaktiven Ionen Etch/Asche (RIE) Prozess. Das Zwei-in-One-System weist einen hin- und hergehenden bidirektionalen Elektronenstrahl für Ätz- und Ascheoperationen auf. Es ist in der Lage, bis zu 200mm Wafer zu verarbeiten und hat eine Plasma-Gleichmäßigkeit von 99,98%. Primaxx verfügt zudem über eine schnelle und effiziente Heizeinheit mit einem aromatischen Verbundfilmheizer und einem Elektronenstrahl-Heizelement. Die Maschine ist in der Lage, Wafer bis zu 400 ° C in weniger als 10 Minuten zu heizen. Dies ermöglicht es, gleichmäßige Filme mit höheren Ätzraten und höheren Abscheideraten für eine verbesserte Prozessleistung zu erzeugen. SPTS Primaxx kann eine breite Palette von Materialien verarbeiten, darunter Silizium, Glas, Galliumarsenid und Indiumphosphid. Es kann auch Spezialgeräte wie MEMS, LEDs und optoelektronische Komponenten verarbeiten. Das Bewegungssteuerungswerkzeug von Primaxx ist für hochgenaue Ätz- und Ascheoperationen ausgelegt. Es verfügt über einen integrierten Verriegelungsmechanismus, der es ermöglicht, mehrere Operationen an einem einzelnen Wafer mit genauer Positionierung und Ausrichtung durchzuführen. SPTS Primaxx führt einen vollautomatischen, softwaregesteuerten Prozess durch. Es ist in der Lage, Einpass-Ätz-/Ascheoperationen für hohen Durchsatz. Damit eignet es sich sowohl für F&E als auch für Produktionsanwendungen, sodass Anwender eine breite Palette von Materialien schnell und präzise bearbeiten können. Primaxx bietet eine breite Palette von Prozessoptionen und kann auf spezifische Anwendungsanforderungen zugeschnitten werden. Dazu gehören Ätz- und Ascheeinheiten, Ätz- und Ablagerungen oder Kombinationen der beiden. Es verfügt auch über ein Auto-Kalibrierungs-Asset, das Wafer-zu-Wafer-Prozesskonsistenz ermöglicht. Das automatisierte Modell kann ferngesteuert und überwacht werden. SPTS Primaxx ist ein fortschrittliches, vielseitiges Ätz-/Aschewerkzeug, das ein hervorragendes Preis-Leistungs-Verhältnis bietet. Es eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, von der Großserienfertigung bis zur explorativen Forschung. Dank seiner leistungsstarken Eigenschaften und der automatisierten Prozesssteuerung ist es eine ideale Wahl für die Halbleiterindustrie.