Gebraucht SPTS Sigma Fx P300 #9289687 zu verkaufen
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ID: 9289687
Weinlese: 2015
System
(2) HSE
Etch chamber
(3) Process chambers
MWD Degas chamber
MWD Degas chamber height: 2.5m
(2) Transport chambers / Load lock chamber
TM Chamber
OTF Sensor
(3) EFEM Load ports
Dual blade for high throughput
Labyrinth chambers
(4) Dry pumps:
iGx 600N
(3) iGx 100L
2015 vintage.
SPTS Sigma Fx P300 ist eine Ätz- und Aschereinrichtung, die für die Halbleiterverarbeitung und präzise Nanotechnologie-Anwendungen entwickelt wurde. Es ist ein leistungsfähiger E-Strahl-Verdampfer mit unabhängigen präzisen Strahlpositionen zum Ätzen, Sputtern und anderen Prozessen. Zu den Merkmalen gehören ein hochauflösendes Bilderkennungssystem mit Faltungsfiltern und Mustererkennung. Der P300 ist mit einem zweiteiligen Kammerdesign konstruiert, das über eine einzigartige Vakuumhüllenkonstruktion verfügt, um die Vakuumintegrität zu gewährleisten. Diese Kammerarchitektur verringert auch Pumpverluste und verringert die Partikelabscheidung, indem sie eine genau definierte Trennung zwischen Vakuum und bereinigter Arbeitsumgebung ermöglicht. Sigma Fx P300 nutzt ein Multi-Source-Design, mit dem mehrere Abscheide- und Ätzprozesse gleichzeitig durchgeführt werden können. Dieses Gerät verfügt auch über eine automatisierte Stufe und mehrere Substratschnittstellen, um eine breite Palette von Konfigurationen zu ermöglichen. Komponenten wie Transfermaschine, Roboterarm und Förderer stehen zur Verfügung, um eine große Produktionsumgebung zu ermöglichen. Das P300-Werkzeug wurde entwickelt, um eine Vielzahl von Aufgaben zu bewältigen, wie das Abscheiden und Ätzen von metallisierten und dielektrischen Schichten, das Erstellen und Abscheiden von dielektrischen Strukturen und das 3D-Mustern von Strukturarrays in Hochfrequenzanwendungen. Es verfügt über eine Vakuumanlage, die in der Lage ist, eine breite Palette von Prozessdrücken zu verwalten, die von Ultrahochvakuum (UHV) bis atmosphärisch reichen. Darüber hinaus verfügt das P300 über einen auf Monte Carlo basierenden Kurvenanpassungsalgorithmus, der die Anpassung von Rezepten für verschiedene Prozesse vereinfacht. Eine Schnittstelle zu Designwerkzeugen wie CAD und Physik-Attributen bietet auch eine große Kontrolle über die Herstellung von Prozessrezepten. Das Modell verfügt zudem über Funktionen zur Temperatur- und Feuchtigkeitskontrolle und kann in Class1 Reinraumumgebungen eingesetzt werden. Seine umfassende Alarmausrüstung und Wartungsnachverfolgung bietet präventive Wartungsfunktionen und schlägt bei Bedarf Alarm. SPTS Sigma Fx P300 ist ein leistungsstarker und zuverlässiger Ätzer und Ascher, der für den Einsatz in nanotechnologischen Anwendungen geeignet ist, und seine umfassenden Eigenschaften machen es zu einer großen Wahl für die Halbleiterverarbeitung.
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