Gebraucht SPTS VPX Pegasus #9051077 zu verkaufen

SPTS VPX Pegasus ist ein vollautomatischer Ätzer/Ascher, der Batch-Funktionen für tiefe CDs (DCB) und Ätzen/Aschen von Siliziumwafern, MEMS und anderen Substraten mit einem Durchmesser von bis zu 200 mm bietet. Es ist eine fortschrittliche Lösung für fortgeschrittenes Ätzen, Plasmaaschen und chemisches Oxidstrippen. VPX Pegasus kommt mit zwei Prozesskammern, einer Ätzkammer und einer Aschenkammer. Die Ätzkammer ist in der Lage, komplexe Ätzrezepte mit bis zu 2500 Watt Leistung zu handhaben. Der erweiterte Ätzer kann hohe Selektivitätsverhältnisse erzielen und verfügt über einen integrierten Generator für tiefe CDs. Die Waschkammer sorgt für hohe Temperaturen beim Plasmaaschen, Gasaschen und chemischen Oxidstrippen. Die fortschrittliche Temperaturregelung und die hohe Wärmeübertragungsrate ergeben konsistente und gleichmäßige Ascher-Ergebnisse. SPTS VPX Pegasus ist eine vollautomatische Ätz-/Aschemaschine. Es bietet computergesteuerte Setup und Prozessausführung mit Speicherplatz und Recovery, um konsistente Prozessergebnisse zu gewährleisten. Mit dem werkseitig installierten Rezeptmodul können Ätzrezepte in einer sicheren Rezeptbibliothek gespeichert werden. Das System verfügt auch über eine Wärmerohr-Aschetechnologie, die schnelle Zykluszeiten liefert und eine automatische Wafer-Ladeeinheit zum einfachen Be- und Entladen von Substraten. Die Maschine umfasst auch erweiterte Prozessanalysen wie Endpunkterkennung, Merkmalserkennung und Partikelerkennung. Das Partikeldetektionsmerkmal ermöglicht eine direkte Validierung der Ergebnisse aus dem Ätz-/Aschevorgang. VPX Pegasus wurde entwickelt, um die hochwertigen industriellen Anwendungen für Ätz- und Ascheprozesse zu erfüllen. Es bietet hohe Präzision, wiederholbare Ergebnisse, hohen Durchsatz und robuste Verarbeitungsfunktionen. Das Werkzeug eignet sich gut für MEMS, Silizium, GaAs und andere High-End-Substrate für fortgeschrittene Ätz- und Ascheanwendungen.