Gebraucht SSEC Evergreen Series II 203 #9260711 zu verkaufen
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ID: 9260711
Wafergröße: 6"
Photoresist wafer etchers, 6"
Chemical storage
Wafer transfer cabinet
Transfer cabinet
Stainless steel
Recirculating chillers
With (2) pumps / LG HPC Coolers.
SSEC Evergreen Series II 203 ist ein Ätzer/Ascher für die integrierte Bearbeitung von Kundenwafern. Mit dieser Vorrichtung soll eine kostengünstige Lösung für Waferanwendungen wie Mustertransfer, Ätzen, Dünnschichtabscheidung und Messtechnik geschaffen werden, die eine Herstellung von Wafern mit hohem Durchsatz ermöglicht. Die Serie II 203 basiert auf der zuverlässigen und langlebigen Evergreen Series II-Plattform und verfügt zusätzlich über ein hochpräzises Wafer-Handling-System, um eine nahtlose und effiziente Verarbeitung von Kundenwafern zu gewährleisten. Die Serie II 203 nutzt die Direktantriebstechnologie, um mehr Genauigkeit und Produktionsqualität zu erreichen. Dieser leistungsstarke, ressourceneffiziente Ätzer/Ascher verwendet genaue und präzise integrierte Bewegungssteuerungen und Direktantriebstechnologie, um eine optimale Qualität und Reproduzierbarkeit bei der Verarbeitung von Kundenwafern zu gewährleisten. Darüber hinaus nutzt das Gerät ein fortschrittliches vorgewärmtes Bedampfungs- und Ätzverfahren (PPVE), das die Herstellung extrem dünner und dicht verpackter Merkmale auf Kundenwafern ermöglicht. Die Serie II 203 ist mit einem zuverlässigen 10-Position-Roboter-gesteuerten Wafer-Handling-System ausgestattet, das die Verarbeitung mehrerer Wafer zu einem Kinderspiel macht. Darüber hinaus verfügt es über ein effektives Flow Panel Interface Management System (FPI-MS), das eine kontinuierliche Überwachung und Analyse der Prozessaktivitäten in Echtzeit ermöglicht. Diese Funktion ermöglicht eine schnelle und automatische Wafer-Programm-Abstimmung auf spezifische Kundenanforderungen. Das Gerät verfügt über eine langlebige Edelstahlkammer mit einer Vakuumstärke von bis zu 10 + 5 Torr. Darüber hinaus verfügt es über ein integriertes Quarzfenster und eingebettete Sensoren zur Temperaturüberwachung. Die Serie II 203 kommt auch mit einer Reihe von exklusiven Technologien, um die höchste Qualität und Gleichmäßigkeit der zu verarbeitenden Materialien zu gewährleisten. Diese Technologien umfassen Trägergas, Prozessdrift, Wafer-Los-Optimierung und eine erweiterte Datenerfassungsfunktion. Sicherheitstechnisch ist die Serie II 203 mit einer Vielzahl fortschrittlicher Sicherheitsmerkmale ausgestattet. Es nutzt Interlocks, Anti-Kollisionssysteme und ausfallsichere Mechanismen, um Personal und Wafer sicher zu halten. Schließlich ist das Gerät mit einer Reihe von benutzerfreundlichen Schnittstellen und Kontrollen entwickelt, um die Bedienung und Wartung des Geräts einfach und problemlos zu machen.
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