Gebraucht STS / CPX MESC Multiplex #9185203 zu verkaufen
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ID: 9185203
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1998
Plasma etcher, 6″
Loadlock system
Al Chamber
Dual chlorine gas and BCL3
Injection of gas mixtures: N2, O2, SF6, (C4F8), CF4, BCl3, Ar, Cl2 and HBr
Pumps:
Roughing pump
Diffusion pump
Turbo molecular pump
Pumping system: MP, DP & TMP
Inductively coupled plasma: RF1 kW
RF Generator: 13.56 MHz / 0 to 300 W
1998 vintage.
STS/CPX MESC Multiplex ist ein hochmoderner Ätzer und Ascher. Es ist für die Herstellung von anspruchsvollen elektronischen Geräten wie Mikroschaltungen, mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) und Mikroelektronik-Paketen konzipiert. STS MESC Multiplex basiert auf einem elektrochemischen Ätzprozess mit einer ausgeklügelten, patentierten zweistufigen, mehrstufigen (STS) Logik, die eine präzise Steuerung des Ätzprozesses für das seltenerdfreie Ätzen von mehrfachen, gleichzeitigen Aluminium-, Kupfer- und Eisenelektroden ermöglicht. Das macht den Ätzer hocheffizient und präzise über ein breites Materialspektrum. CPX MESC Multiplex ist ein kompaktes System und benötigt nur eine minimale Menge an Waferoberfläche, um mit dem Ätzen zu beginnen. Seine Leistung und Größe machen es perfekt für kleine, laborbasierte und Forschungsanwendungen. MESC Multiplex verfügt über eine moderne und intuitive Benutzeroberfläche und ist extrem einfach zu bedienen. Der gesamte Ätzprozess kann überwacht und gesteuert werden, so dass der Benutzer Parameter wie Ätzgeschwindigkeit und -strom, Ätzschutzzeit, Ätzzone und Kühlgebläsegeschwindigkeit einstellen kann. Die Maschine ist in der Lage, Formen und Muster mit wenig bis keine Oberflächenfehler, Niederspannungsausgang und extrem breite Wafer Abdeckung zu ätzen. Ein separater Motor ermöglicht die genaue Platzierung verschiedener intelligenter Masken, Chips und anderer solcher empfindlicher elektronischer Teile. STS/CPX MESC Multiplex ist mit einem Front-Panel-Display, Tastatur und Joystick für einfache Bedienung ausgestattet. Alle Parameter sind leicht zugänglich und nach Bedarf einstellbar. Insgesamt bietet STS MESC Multiplex ein recht effizientes und präzises Ätzsystem für alle Arten von Mikroelektronik-Anwendungen, insbesondere solche mit engen Platzbeschränkungen. Mit seinen verschiedenen Einstellungen, Fähigkeiten und der einfachen Bedienung ist es das perfekte System, um eine breite Palette von Ätzanforderungen zu erfüllen.
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