Gebraucht STS / CPX MESC Multiplex #9261950 zu verkaufen

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ID: 9261950
Wafergröße: 4"-6"
Weinlese: 2000
ICP Etcher, 4"-6" With Silicon and Poly-Si Wafer material: Quartz, Si, glass Process gas: SF6, O2 Etch rate: 1µm ~ 5µm / Minutes Missing parts: Turbo pump Dry pump Chiller Power supply: 208 V, 80 A, 60 Hz, 3 Phase 2000 vintage.
STS/CPX MESC Multiplex ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschertechnologie, die es Anwendern ermöglicht, präzise und komplexe Ätz- und Aschemuster auf verschiedenen Mustern durchzuführen. Als Ascher verwendet STS MESC Multiplex eine Hochleistungsquelle konzentrierter Energie, hauptsächlich Plasma, um Material von einer Oberfläche zu entfernen, ohne das darunter liegende Substrat zu beschädigen. Als Ätzer verwendet diese Technologie Plasmen unterschiedlicher Ionenneutralität, um gewünschte Merkmale selektiv zu ätzen und zu mustern, ohne die darunter liegende Schicht oder das Untergrund zu beschädigen. CPX MESC Multiplex ist eine Serie universeller All-in-One-Technologie, die den anspruchsvollsten Anforderungen des gemeinsamen Asch-, RIE- und Ätzprozesses gerecht wird. Sein einzigartiges Design und seine Vielseitigkeit ermöglichen es Benutzern, den Ätzprozess genau anzupassen und zu steuern, um optimale Ergebnisse zu erzielen. Die Steuerung von MESC Multiplex umfasst PD-Quellen mit variabler Leistung, einstellbare Leistung und einstellbare Oxid- und Nitridschichten. Darüber hinaus verfügt diese Technologie über Anti-Schlacke und Antireflexion sowie reduktionsfreundliche Bedienung. Diese Ätz-/Aschwerkzeuge bieten eine breite Palette von Prozessfähigkeiten, um die Anforderungen der anspruchsvollsten Anwendungen zu erfüllen. Vom schnellen Ätzen ultradünner Schichten bis zum selektiven Ätzen dicker Metallfolien - STS/CPX MESC Multiplex bietet höchste Präzision und beispiellose Kontrolle. Die integrierte Software- und Hardwaretechnologie STS MESC Multiplex ermöglicht es Anwendern, komplexe Muster in einer Vielzahl von Materialien zu erstellen. Die adaptiven und einstellbaren Parameter optimieren den Ätzprozess für eine Vielzahl von Materialien. CPX MESC Multiplex wurde entwickelt, um die höchstmöglichen Standards zu erfüllen und bietet höchste Sicherheitsbedingungen. Die kompakte Bauweise ermöglicht eine einfache Installation und Verwendung in Reinräumen sowie in allen anderen Bereichen der sensiblen Produktion. Die eingebauten Sicherheitsmerkmale sorgen dafür, dass Ihre teure Produktionslinie beim Aschen und Ätzen nicht in Gefahr ist. Neben seinen vielen Funktionen kommt MESC Multiplex mit der EasySet Software für PC-unabhängige Bedienung und Datenverwaltung. Diese intuitive Software vereinfacht die Einrichtung Ihrer Experimente, sodass Sie auf alle Ihre Daten zentral zugreifen, speichern und verwalten können. Die flexible Plattform ermöglicht auch Portabilität, so dass es ideal für den Einsatz an verschiedenen Standorten. STS/CPX MESC Multiplex ist die perfekte All-in-One-Ätz-/Veraschungslösung für diejenigen, die ein zuverlässiges und präzises Ätzwerkzeug mit einer Fülle von Funktionen suchen. Diese Technologie bietet Präzision, Effizienz und Kontrolle bei gleichzeitiger Förderung der Umweltsicherheit und liefert überlegene Ergebnisse.
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