Gebraucht STS / CPX Multiplex ASE ICP #9139666 zu verkaufen

STS/CPX Multiplex ASE ICP ist ein fortschrittlicher Crystal Plate Ätzer für Halbleiter- und Solaranwendungen. Es ist ein paralleler Bearbeitungsätzer mit hervorragender Geschwindigkeit und Präzision, der einen extrem hohen Durchsatz in den komplexesten Ätzumgebungen erreicht. Es ist eine vollautomatische Ausrüstung, die mehrere Ätzprozesse in einer Plattform kombiniert und die vollständige Systemsteuerung während des gesamten Ätzprozesses bietet. STS Multiplex ASE ICP ist mit drei Ätzmodulen zur gleichzeitigen Strukturierung mehrerer Wafer ausgestattet. Es verfügt über ein modernes integriertes Fan-Out-Modul für den hochgenauen Mustertransfer von Hauptkassetten zu Waferhalter, was eine schnelle Umdrehungszeit und Präzisionsätzergebnisse gewährleistet. Die große 12-Zoll-Waferkapazität ermöglicht das Ätzen mehrerer Substrate in einer Last. CPX Multiplex ASE ICP arbeitet unter einer geschlossenen Schleifeneinheit, um eine vollständige Prozesssteuerung zu gewährleisten. Es ist mit einer fortschrittlichen Gassteuerungsmaschine ausgestattet, die aus einer Gasmischkammer, einer Vakuumquelle und einer Ionenquelle besteht. Das Gasregelwerkzeug wendet außerdem einen sehr präzisen und kontrollierten Ätzgasstrom an, um ein gleichmäßiges Ätzen zu gewährleisten. Multiplex ASE ICP bietet auch extrem präzise Musterfunktionen. Es verfügt über eine integrierte Bildverarbeitungsanlage, die hochauflösende Kameras verwendet, um den Ätzort genau zu bestimmen. Das Modell verfügt auch über erweiterte Quellleistungssteuerung und Abscheidungssteuerung, was zu ausgezeichneter Formgenauigkeit und niedriger Temperaturverformung führt. Darüber hinaus verfügt die Maschine über eine 100% -ige Isolieranlage zum Schutz prozessempfindlicher Materialien. Seine fortschrittlichen Kühlsysteme verwenden mehrere Kühlkörper, um eine schnelle und gleichmäßige Waferkühlung zu gewährleisten. Die Kühlschleifen sorgen für schnelles Wafer-Recycling für wiederholbares Ätzen komplexer Formen. Insgesamt ist STS/CPX Multiplex ASE ICP ein fortschrittlicher und zuverlässiger Ätzer, der sich für Designs mit komplizierten und komplexen Formen eignet. Die Maschine ist zuverlässig und effizient, bietet hochpräzises Ätzen und volle Prozesskontrolle. Mit seinen vielfältigen Ätzfähigkeiten kann es hervorragende Ergebnisse für eine Vielzahl von Halbleiter- und Solaranwendungen liefern.