Gebraucht STS / CPX Multiplex ASE ICP #9179213 zu verkaufen

STS/CPX Multiplex ASE ICP etcher/asher ist ein hochentwickeltes Werkzeug zum Ätzen und Waschen von Wafern. Es ist eine Mehrzonenausrüstung, die es ermöglicht, unterschiedliche Ätz- und Ascheprozesse in verschiedenen Kammern gleichzeitig durchzuführen. Das System ist mit einer hochfrequenten Stromversorgung und ausgeklügelten digitalen Steuerungssystemen ausgestattet, die dem Anwender die volle Kontrolle über den Ätz- und Ascheprozess geben. STS Multiplex ASE ICP Ätzer/Ascher ist eine hocheffiziente Einheit, die sowohl induktiv gekoppeltes Plasma (ICP) Ätzen und Aschen bietet. Es wurde entwickelt, um kostbar und kontinuierlich unter hohem Druck zu arbeiten, so dass überlegene Wafer-Finish und Gleichmäßigkeit. Die Plasmaquelle und das integrierte HF-Matching-Netzwerk der Maschine wurden sorgfältig entwickelt, um die Wasserstoffverdünnung im Plasma zu minimieren und ein sehr glattes Filmprofil zu gewährleisten. Die ICP-Kammer von CPX Multiplex ASE ICP Ätzer/Ascher ist auch für hohe Leistungsdichten und Hochdruckbetrieb ausgelegt, so dass es ideal für die komplexesten Ätzaufträge. Es verfügt über eine Kupferauskleidung, die hilft, die parasitäre Kapazität zu reduzieren und verbessert die Wiederholbarkeit und die Kontrolle des Ätzprozesses. Darüber hinaus sorgen die speziell gestalteten Wandstreifen der Kammer für eine volle 360-Grad-Abdeckung des Ätzbereichs. Multiplex ASE ICP Ätzer/Ascher ist mit einem hochauflösenden digitalen Bildgebungswerkzeug ausgestattet, das die Form und das Profil des Wafers während des Ätzprozesses genau überwachen und messen kann. Dieses Asset ermöglicht es dem Benutzer auch, Ergebnisse zu speichern und abzurufen und die Ätzprozesse im Laufe der Zeit zu überwachen. STS/CPX Multiplex ASE ICP etcher/asher ist ein sehr zuverlässiges Werkzeug, das in der Lage ist, qualitativ hochwertige Ergebnisse rechtzeitig zu liefern. Es bietet eine fortschrittliche Plattform für das Ätzen und Aschen einer Vielzahl von Wafern, so dass hochkomplexe Prozesse schnell und effizient abgeschlossen werden können. Dies macht das Modell ideal für Anwendungen in einer Vielzahl von Industrie-, Medizin- und Automobilbranchen.