Gebraucht STS / CPX Multiplex ASE #9118795 zu verkaufen

STS/CPX Multiplex ASE ist ein fortschrittlicher Ascher/Ätzer, der entwickelt wurde, um effizientes und zuverlässiges Stickstoff- und Sauerstoffplasmaätzen in Halbleiterherstellungsprozessen und verwandten Anwendungen bereitzustellen. Es ist eine Einkammer-Anlage, die die Verwendung von Stickstoff (N) oder Sauerstoff (O) -Gasen zum reaktiven Ionenätzen (RIE) ermöglicht. Das System eignet sich sowohl für Kleinserien als auch für Großserien und bietet hervorragende Leistung, Genauigkeit und Wiederholbarkeit. Das Gerät besteht aus einer evakuierten Prozesskammer mit einem extern montierten HF-Generator, der bis zu 6000 Watt Leistung liefert. Es ist mit einem entkoppelten HF-Generator gebaut, der hilft, einheitliche Ätzeigenschaften auf Wafern unterschiedlicher Art und Durchmesser zu erhalten. Der HF-Generator ist auch in der Lage, bis zu 1000 Volt bereitzustellen, so dass er Prozesse bei höheren Drücken (bis zu 5 Torr) und mit höheren Ätzraten ausführen kann. STS Multiplex ASE enthält eine vielseitige Gaseinspritzmaschine mit einem Durchflussbereich von 0 bis 300 ml/min, die es ermöglicht, sowohl trockene als auch nasse Ätzungen zu handhaben. Das Werkzeug ist in der Lage, alle gängigen Ätzchemien wie CF4, CHF3, C4F8, CH2F2, Ar, He und SF6 zu handhaben. Seine Gasförderung ist äußerst effizient und wirtschaftlich, mit minimaler Verschwendung und ohne chemische Kontamination. Das CPX Multiplex ASE ist mit einem integrierten digitalen Druckregler ausgestattet, mit dem der Benutzer den Kammerdruck präzise steuern kann. Es verfügt auch über eine eingebaute hochpräzise Temperaturregelung, die gewährleistet, dass die Probentemperaturen während der Verarbeitung stabil und genau bleiben. Eine automatisierte Datenerfassungsfunktion erfasst alle relevanten Prozessparameter wie Gasflussraten, Kammerdrücke, Spannungswerte und Probentemperaturen. Dies gewährleistet die Rückverfolgbarkeit und Wiederholbarkeit der Prozessbedingungen. Schließlich ermöglicht ein einzigartiges Kammer- „View“ -Merkmal dem Benutzer, das Innere der Kammer von außerhalb der Einheit zu sehen, was die Überprüfung der Kammer- und Probenbedingungen erleichtert. Das Modell ist auch so konzipiert, dass es mit den meisten peripheren Hardware kompatibel ist, wie Vakuumpumpen, HF-Generatoren und Temperaturregler. Abschließend ist Multiplex ASE ein fortschrittlicher Ascher/Ätzer, der für effizientes und zuverlässiges Plasmaätzen von Halbleitersubstraten entwickelt wurde. Es ist eine integrierte Einkammer-Ausrüstung mit einem vielseitigen Gaseinspritzsystem, einer hochpräzisen Temperaturkontrolleinheit, Datenerfassung und einer benutzerfreundlichen Benutzeroberfläche. Es eignet sich sowohl für Kleinserien als auch für Großserien und ist eine zuverlässige und wirtschaftliche Wahl für Halbleiterherstellungsprozesse.