Gebraucht STS / CPX Multiplex ICP #293609292 zu verkaufen

STS/CPX Multiplex ICP ist eine Ätz- und Aschentechnologie, die zur Herstellung hochwertiger mikroelektronischer Komponenten verwendet wird. Es ist eine Benchmark-Technologie für die Branche, die hohe Durchsatzraten, zuverlässige Prozessergebnisse und geringere Materialkosten bietet. Diese Technologie hat einen modularen Aufbau, der an die spezifischen Bedürfnisse des Kunden angepasst werden kann. STS Multiplex ICP ist ein Plasmaätzer und Ascher, der entwickelt wurde, um Halbleiterscheiben herzustellen und MEMS-Strukturen fortzuführen, einschließlich Photoresist und Ätzmaskierungsschichten. Das Gerät nutzt die fortschrittliche ICP (Inductively Coupled Plasma) -Technologie, die auf verschiedene Plasmaprozesse wie Trockenätzen, Nassätzen und Aschen zugeschnitten werden kann. Es hat auch die Fähigkeit, von einem PC-Basis-Controller ausgelöst und gesteuert werden. CPX Multiplex ICP ist ein Einkammer-System, das sowohl Ätz- als auch Aschefunktionen enthält. Der Ätzvorgang basiert auf einer niederfrequent induktiv gekoppelten pneumatischen Mikrowellenquelle. Dies bedeutet, dass die Einheit Ätzschritte effektiv bewältigen kann, ohne dass separate Kammern erforderlich sind. Die Maschine nutzt eine spezielle Technologie, um das Plasma gleichmäßig auf den großen Substratbereich zu verteilen. Dies ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzprozesses und ermöglicht konsistente Ergebnisse. Der Aschevorgang basiert auf einem üblichen atmosphärischen Druck chemischen Sauerstoff. Das Werkzeug ist auch mit automatischer Waferbelastung ausgestattet und verfügt über einen hohen Durchsatz von bis zu 12 Wafern pro Stunde. Es verfügt über eine präzise Temperaturkontrolle, die stabile Temperaturen beibehält, um thermische Schäden auf dem Substrat zu verhindern. Es verfügt auch über erweiterte Verarbeitungsüberwachungsfunktionen, um wiederholbare Ergebnisse sicherzustellen. Multiplex ICP ist eine ideale Lösung für leistungsstarke mikroelektronische Anwendungen. Es ist einfach in verschiedene Prozessüberwachungssysteme zu integrieren und mit verschiedenen Softwareprogrammen zur präzisen Bearbeitungssteuerung kompatibel. Dieses Ätz- und Aschermodell bietet eine hervorragende Wiederholbarkeit und einen hohen Durchsatz, was eine verbesserte Produktivität, Kosteneinsparungen und einen verbesserten Ertrag bietet.