Gebraucht STS / CPX Multiplex ICP #9303047 zu verkaufen

STS/CPX Multiplex ICP ist eine anspruchsvolle Ätz- und Aschereinrichtung zur kritischen Steuerung von Plasmaprozessanwendungen. Dieses System eignet sich am besten für Tiefätzen, Proben mit hohem Seitenverhältnis und dielektrische Stapel und nanolithographische Aufgaben. STS Multiplex ICP hat sich als die beste Lösung für hydrophobe Bindungsschicht Resistätzen, Rückseitenoxidentfernung, Kohlenstoffmaskenätzen und selektives SiO2 Ätzen erwiesen. Dank seiner leistungsstarken Funktionen ist es auch eine gute Wahl für das Plasmaätzen und Aschen von Lötmaske, FEOL-dielektrischen Materialien, Nanofabrikation, Multi-Level-MEMS und BioMEMS-Verpackungsanwendungen. In Bezug auf die physikalischen Eigenschaften ist CPX Multiplex ICP eine Hochgeschwindigkeitseinheit mit erweiterten Prozessüberwachungs- und Steuerungswerkzeugen. Es ist für eine optimale Energiefrequenzregelung, einen Mehrleistungsgenerator, eine mehrstufige Absaugleistungsregelung und einen eingebetteten PC-Controller ausgelegt. Die fortschrittliche Prozesssteuerungsmaschine ermöglicht eine schnelle und effiziente Ätzproduktion komplexer und homogener Mikrostrukturen. Hinsichtlich der Leistung ist Multiplex ICP in der Lage, optimale Ätzergebnisse für verschiedene Prozessparameter wie Kammeratmosphäre, Ionisation, Abscheidung und Ätzraten zu liefern. Es verfügt über einen einzigartigen Mehrleistungsgenerator mit unabhängiger Kammersteuerung, um eine präzise Steuerung von Ätz- und Abscheideprozessen zu gewährleisten. Es verfügt außerdem über ein mehrstufiges Absaugkraftregelwerkzeug zur vollständigen Optimierung des Ätzprozesses. Sicherheitstechnisch ist STS/CPX Multiplex ICP mit einem Sicherheitsschild ausgestattet. Diese Abschirmung bietet maximalen Schutz vor unbeabsichtigtem Kontakt mit UV-Strahlung und chemischen und mechanischen Gefahren sowie hochgeladenem und gefährlichem Plasma. Darüber hinaus ist die Anlage auch mit einer Vielzahl von Steuerungssystemen ausgestattet, wie einem Plasmatoleranzalarm, einem Reinraumkontaminationsalarm und einem HF-Generator-Überstromalarm. Schließlich ist STS Multiplex ICP in der Lage, Leistung, Qualität und Zuverlässigkeit beim Ätzen und Veraschen von Anwendungen zu einem erschwinglichen Preis zu liefern. Es ist eine vielseitige Lösung für Industrien und Labore, die Aufgaben ausführen möchten, die Präzision und Genauigkeit erfordern. Mit seiner Kapazität für effizienten Einsatz und Schutz ist CPX Multiplex ICP eine ausgezeichnete Wahl für Ätzer und Ascher, die ihre Produktionsprozesse schnell und kostengünstig optimieren möchten.