Gebraucht STS / CPX Multiplex ICP #9313228 zu verkaufen

STS/CPX Multiplex ICP Ätzer sind eine Art Ätzer oder Ascher, die induktiv gekoppelte Plasma (ICP) -Technologie verwenden, um eine Vielzahl von Photoresists und anderen Produkten zu ätzen oder zu aschen. Dieser Ätzer ist ein hocheffizientes Werkzeug, das eine präzise Steuerung der Prozessparameter wie Leistung, Frequenz, Gasfluss und Druck ermöglicht. Der STS Multiplex ICP Ätzer ist mit einer flexiblen Kammer ausgestattet, die je nach Anwendung und Material mit verschiedenen ICP-Quellen neu konfiguriert werden kann. Die ICP-Quellen können schnell umgeschaltet werden, was einen schnellen Wechsel von einem Job zum nächsten ermöglicht. Das Gerät umfasst auch ein Gasfördersystem und eine Kühlgruppe, die die Einleitung einer Vielzahl von Gasen in die Kammer ermöglicht. Die Gase können zur Erzeugung eines bestimmten Ätz- oder Aschemusters verwendet und zur Steuerung der Ätzrate und Selektivität eingestellt werden. CPX Multiplex ICP Ätzer ist mit einer Reihe von Funktionen konzipiert, die es ideal für eine breite Palette von Anwendungen machen. Die Präzisionsleistungsregelung ermöglicht eine verbesserte Ätz- oder Aschegleichförmigkeit und ermöglicht dem Anwender eine hochpräzise Substratätzung oder -veraschung. Darüber hinaus ist die Einheit mit einem Autofokus-Merkmal ausgestattet, das die automatische Fokussierung des Plasmas ermöglicht, um eine gleichmäßige Ätzung oder Asche zu erzeugen. Dies ist besonders nützlich bei der Verarbeitung von schrägen Wafern. Die Maschine verfügt außerdem über ein integriertes Kühlwerkzeug, das eine Überhitzung verhindert. Zusammenfassend ist der Multiplex ICP Ätzer ein hocheffizientes Ätz- oder Aschewerkzeug, das sich für eine Vielzahl von Anwendungen eignet. Es verfügt über eine flexible Kammer, die leicht neu konfiguriert werden kann, um die spezifischen Anforderungen des Auftrags zur Hand, und die Auto-Fokus-Funktion und einstellbare Gas-Lieferung Asset bieten eine ausgezeichnete Kontrolle über die Ätzrate und Selektivität. Darüber hinaus ermöglichen die Präzisionskraft- und Kühlsysteme eine verbesserte Gleichmäßigkeit und verhindern eine Überhitzung des Modells.