Gebraucht STS / CPX Pegasus #293597735 zu verkaufen
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ID: 293597735
Wafergröße: 8"
Weinlese: 2006
Etcher, 8"
(2) Chambers
Power Distribution Unit (PDU)
Cluster Tool Controller (CTC) Cabinet
(3) Rotary pumps
(2) Turbo pumps
(3) SMC HRZ-001 Chillers
Process module (PM2, PM3):
Source assembly
Lower assembly
Electrode assembly
External component
Gas box
MKS RF Generator, 6.5 kW
MKS / ENI ACG 3B RF Generator, 13.56 MHz
MKS Baratron gauge, 10^-4 to 10^-1 mTorr
MKS 750 Capacitance, 10-760 Torr
BOC EDWARDS Active gauge, 10^-4 mTorr to 10 Torr
Ceramic ESC
Pumpdown, 500 mTorr
APC Valve open
Load lock pump down, 80 mTorr
Gate valve open
Temperature: ±2° C
Forward power: ±1 % Vibration
Ref power: ±1% Vibration
Gases: SF6, C4F8, O2, N2, Ar
Flow rate (±2 % Vibration):
Gas / MFC
C4F8 / 400 SCCM
SF6 / 1200 SCCM
Ar / 500 SCCM
O2 / 200 SCCM
He / -
Transport module (TM):
MX600 Handler
Vacuum Cassette Elevator (VCE)
Safety node
Tracking optics
Inligner
(4) Coolers and (4) heaters:
House water
SMC HRZ-L2-DY DI Water chiller
SMC HRZL-D Silicon oil chiller
Insert heater
Gas tubes has been replaced
Power supply: 380 V, 60 Hz, 160 A
2006 vintage.
STS/CPX Pegasus ist eine leistungsstarke Ätz-/Aschemaschine der Semflex Gruppe, die eine Reihe fortschrittlicher Ätz- und Ascheprozesse für eine Vielzahl von Substratmaterialien anbietet. Das System basiert auf den neuesten elektromagnetischen Ätz- und Aschetechnologien und wurde entwickelt, um konsistente, wiederholbare und qualitativ hochwertige Ergebnisse für eine breite Palette von Ätz- und Ascheanwendungen zu liefern. STS Pegasus-Einheit besteht aus einem fortschrittlichen Multi-Station-Handling-Roboter, einer Ätzkammer, einem Aschofen und einer Reihe fortschrittlicher Steuerungs- und Überwachungssysteme. Die Maschine ist in der Lage, mit einer Reihe verschiedener Substratmaterialien zu arbeiten und kann Wafer bis 500 mm Größe handhaben. Die Ätzkammer ist so konzipiert, dass sie ultrahochdichtes Ätzen ermöglicht, während der Aschofen hocheffiziente, kontrollierbare und sichere Aschvorgänge bietet. Der mehrarmige Roboter dient zum Überführen von Wafern zwischen Ätzkammer und Aschofen. Sein ausgeklügeltes Design ist in der Lage, den Wafer-Spin zu steuern, sowie eine präzise Reihenfolge und Positionierung der Wafer während des gesamten Ätzprozesses zu gewährleisten. Der Roboter ist auch in der Lage, Wafer zu erkennen, zu be- und entladen und kann eine Vielzahl zusätzlicher Prozesse steuern, wie z.B. Waferreinigung, -orientierung und -ausrichtung. Das Werkzeug ist mit einer Reihe von Sicherheits- und Sicherheitsfunktionen konzipiert, einschließlich fortschrittlicher Temperaturregelungssysteme, Luft- und Gasströmungsschutz sowie Überwachungs- und Sicherheitsverriegelungen. Diese Funktionen tragen dazu bei, potenzielle Risiken während des Ätzvorgangs zu minimieren und bieten den Betreibern ein sicheres und sicheres Erlebnis. CPX Pegasus Asset wurde auch entwickelt, um die Qualität und Integrität von Wafern, die in ihm verarbeitet werden, zu maximieren und gleichzeitig eine große Flexibilität und Prozesskontrolle zu bieten. Mit seiner innovativen Nanotechnologie und fortschrittlichen Steuerungssystemen bietet das Modell eine nie dagewesene Präzision und Wiederholbarkeit beim Ätzen und Aschen. All diese Eigenschaften sowie die Vielseitigkeit der Geräte machen es zur idealen Lösung für Ätz- und Ascheprozesse für eine Vielzahl von Anwendungsoberflächen.
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