Gebraucht STS Multiplex ICP HR #293622448 zu verkaufen
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ID: 293622448
Weinlese: 2001
Deep Reactive Ion Etcher (DRIE)
Chamber
(2) Electronic racks
(6) PCB:
V.A.C.3.Y
A.M.C.1A
H.B.C.2
H.C.U.3
H.C.L.1
2001 vintage.
STS Multiplex ICP HR ist ein robuster Ätzer/Ascher, der speziell für Halbleiterherstellung und Forschungsanwendungen entwickelt wurde. Diese sehr vielseitige Maschine ist in der Lage, zu ätzen, zu aschen und flache Proben zu entnehmen. Multiplex ICP HR ist mit einer fortschrittlichen Multi-Zone Quarz-Mikrobalance (QCM) -Ausrüstung, einem zyklonischen Duschkopf und einem automatischen Wafer-Handling-System ausgestattet. Die hochgenaue QCM-Einheit ermöglicht eine präzise Steuerung des Ätzprozesses und gewährleistet eine optimale Leistung für eine breite Palette von Materialien, von niedrigem Widerstand bis hin zu High-K-Dielektrika. Der zyklonische Duschkopf sorgt für überlegene Ätzgleichmäßigkeit, was besonders wichtig für die Herstellung komplexer Strukturen ist. Darüber hinaus ermöglicht die Wafer-Handhabungsmaschine die Bearbeitung von bis zu 999 Wafern gleichzeitig und kann Wafer während der Prozesse automatisch erkennen, transportieren und indexieren. STS Multiplex ICP HR ist für den Betrieb mit einer breiten Palette von Geräten konzipiert, so dass Benutzer ihre Prozesse an die spezifischen Anforderungen ihrer Anwendungen anpassen können. Die fortschrittliche Oberflächenmontagetechnologie bietet eine Plattform für die Oberflächenwahlsteuerung, mit der Benutzer vor dem Ätzen Markierungen an Zielorten platzieren können. Darüber hinaus ermöglicht die anisotrope Beladeeinrichtung der Maschine es Benutzern, den Ätzwinkel während des Ätzvorgangs genau einzustellen. Schließlich können die Multifunktionen von Multiplex ICP HR in vollautomatisierte Rückverfolgbarkeitssysteme integriert werden. Dadurch wird sichergestellt, dass alle Prozesse effizient, präzise und innerhalb höchster Qualitätssicherungsstandards durchgeführt werden. Insgesamt bietet STS Multiplex ICP HR Ätzer/Ascher ein robustes und hochgenaues Werkzeug für Halbleiterherstellung und Forschungsanwendungen. Das fortschrittliche QCM-Tool, der zyklonische Duschkopf und das Wafer-Handling-Asset in Kombination mit anpassbaren Optionen bieten Benutzern eine vielseitige und effiziente Möglichkeit, ihre Wafer zu ätzen, Asche und flache Proben. Mit seiner Fähigkeit, schnell bis zu 999 Wafer zu bearbeiten und höchste Qualitätssicherungsstandards zu gewährleisten, kann Multiplex ICP HR die Effizienz jedes Ätzprozesses erheblich erhöhen.
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