Gebraucht STS MXP Multiplex ICP HR #9005443 zu verkaufen
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ID: 9005443
Advanced Silicon Etcher (ASE)
Process: Silicon etch bosch
Capable, 2"-8"
EDWARDS E2M40 Loadlock pump
PFEIFFER MAG 2000 High vacuum pump
EDWARDS IQMB250 Roughing pump
EDWARDS IQDP80 Roughing pump
ENI / ACG-3B RF Generator
ADVANCED ENERGY RFG 3001 RF Generator
Loadlock
(4) Gases
HUBER Unistat Chiller, 140 W
Gases: SF6, O2, Ar, C4F8
Balun coil ICP V2
Mechanical clamp
Helium backside cooling
(2) MkIV MPX Carousel, 6"
Power supply: 3 kW, 300/30 W Platen
Purge gas line
E-Rack modules:
HCL1
HCU3
HCU5
VAC3Y
(2) AMC1
HBC2
Operating system: Windows 2000
Power supply: 400 V, 50 Hz, 40 A, 3-Phase
Configured Power supply: 60 Hz, 208 / 460, 3-Phase
CE Marked
2003 vintage.
STS MXP Multiplex ICP HR ist ein fortschrittlicher, hochauflösender Ätzer/Ascher zur Überbrückung der Lücke zwischen mehreren Prozessen. Es nutzt hochauflösende, Multiplex- und ICP-Prozesse (induktiv gekoppeltes Plasma), um Genauigkeit, Ausbeute und Durchsatz zu maximieren. Die hochauflösenden Funktionen der Maschine werden durch hochmoderne bildgebende Geräte ermöglicht. Dieses System ist in der Lage, die Ätzauflösung je nach Anwendung anzupassen, sodass Auflösungen bis zu 18um (Mikrometer) möglich sind. Darüber hinaus verfügt es über eine automatisierte Ausrichtungs- und Prozessoptimierungseinheit, um die Gleichmäßigkeit beim Ätzen zu gewährleisten. Das Multiplexverfahren ermöglicht die gleichzeitige Bearbeitung einer großen Menge an Wafern, wodurch die Prozessvariation reduziert und die Ausbeute gesteigert wird. Der ICP-Prozess schafft eine leistungsstärkere und konsistentere Ätzrate als andere Ätzverfahren, was für kritische und Halbleiteranwendungen von großem Vorteil ist. Der Ätzer/Ascher kommt auch mit hervorragenden Hardwarefunktionen, die es noch leistungsfähiger machen. Die große, automatisierte Lademaschine erleichtert die Bearbeitung mehrerer Wafer auf einen Schlag. Es kommt auch mit einer speziellen, geschlossenen ICP-Kammer, die die Umwelt staubfrei hält und die Wirksamkeit des Prozesses erhöht. MXP Multiplex ICP HR kann auch in eine Reinraumumgebung integriert werden. Sein einzigartiges Setup ermöglicht eine höhere Fertigungsprozesssteuerung und eignet sich somit ideal für Präzisionsprozesse wie in der Halbleiter- und Medizinproduktion. STS MXP Multiplex ICP HR ist ein ausgezeichneter Ätzer/Ascher und wird für eine Reihe verschiedener Fertigungsprozesse verwendet. Dank seiner hohen Auflösung, Multiplex- und ICP-Funktionen eignet es sich perfekt für Anwendungen, bei denen Präzision der Schlüssel ist. Es ist auch gut für Reinraumumgebungen geeignet und ist eine perfekte Wahl für jede Produktionsumgebung, die ein hohes Maß an Prozesskontrolle und Genauigkeit erfordert.
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