Gebraucht STS MXP Multiplex #9005442 zu verkaufen
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ID: 9005442
Wafergröße: 6"
Weinlese: 2003
ICP HR Chlorine etch system, 6"
Process: Silicon etch bosch
Capable, 2"-8"
EDWARDS E2M40 Loadlock pump
PFEIFFER MAG 2000 High vacuum pump
EDWARDS IQMB250 Roughing pump
EDWARDS IQDP80 Roughing pump
ADVANCED ENERGY RFG 3001 RF Generator
HUBER Unistat 140 W
Loadlock
(5) Gases
Chiller
Gases: BCl3, Cl2, O2, Ar, He
Accessories:
Balun coil ICP V2
Mechanical clamp
Helium backside cooling
(2) MkIV MPX Carousel, 6"
Power supply: 3 kW, 300 / 30 W Platen
Purge gas line
E-Rack modules:
HCL1
HCU3
HCU5
VAC3Y
(2) AMC1
HBC2
Operating system: Windows 2000
Power supply: 400 V, 50 Hz, 40 Amp, 3 Phase
Configured power supply: 208/460 V, 60 Hz, 3 Phase
CE Marked
2003 vintage.
STS MXP Multiplex ist ein hochwertiger integrierter Ätzer/Ascher, der höchsten Standards entspricht. Mehrzweckfähigkeit und Flexibilität wurden in die innovative Ausrüstung konzipiert, die es Anwendern ermöglicht, im gleichen Modul mit einer schnellen, einfachen und zuverlässigen Verarbeitung einer breiten Palette von verschiedenen Materialien zu ätzen und zu aschen. MXP Multiplex mit Ätz- und Ascherfähigkeit ist eine kompakte, effiziente und effektive All-in-One-Verarbeitungslösung. Es verfügt über eine DIN-kompatible Architektur, die modular genug ist, um die Wahl des Ätz- oder Aschenbetriebs zu ermöglichen. Das System läuft auf Wechselstrom- und Gleichstromversorgungen für flexiblen Betrieb, und eine einfache benutzerfreundliche Schnittstelle macht es einfach einzurichten und zu bedienen. Eine erweiterte beheizte Ätzkammer kann extrem genaue, hochauflösende Ätzergebnisse mit absoluter Kontrolle über Temperatur und Belichtungszeit liefern. Die Kammer ist für einheitliche Verarbeitungsbedingungen mit präziser Temperaturregelung und hoher Gleichmäßigkeit bei einer Vielzahl von Ätzmaterialien ausgelegt. Darüber hinaus sind die Heiz- und Kühlelemente auf maximale Sicherheit und Energieeffizienz ausgelegt. Der integrierte Ascher sorgt für höchste Genauigkeit und Effizienz bei der Verarbeitung von Materialien, die sowohl geätzt als auch verascht werden müssen. Im Gegensatz zu herkömmlichen Ashing-Systemen verfügt STS MXP Multiplex über aktive, Open-Air-Funktionen, die eine genaue und schnelle Verarbeitung von Nass- und Trockenreinigungsmaterialien ermöglichen. Das Gerät eignet sich besonders für mehrschichtige geätzte/ashte Substrate und sorgt für überlegene Genauigkeit, Durchsatz und Zuverlässigkeit. MXP Multiplex kann einfach in andere Ätz-/Aschersysteme oder Stand-Alone-Maschinen integriert werden und bietet Anwendern Flexibilität, Skalierbarkeit und Kosteneinsparungen. Darüber hinaus ist die Maschine sehr kompatibel mit den meisten Arten von Platten und Materialien, einschließlich Epoxid-, Polyimid- und Acryllaminate. STS MXP Multiplex ist die perfekte Wahl für Designer und Ingenieure, die eine Vielzahl von Substraten schnell und präzise verarbeiten müssen. Es bietet Anwendern eine einfach zu bedienende, benutzerfreundliche Lösung, die sowohl Ätz- als auch Ashing-Projekte schnell und präzise abwickelt und für überlegene Ergebnisse sorgt.
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