Gebraucht STS Pro ICP #9222701 zu verkaufen
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ID: 9222701
Wafergröße: 2"
Weinlese: 2008
Etcher, 2"
Process: InP Etch
Etch chamber
Clamp type: SEMCO ESC
LEYBOLD Turbo pump
VARIAN Scroll pump
Pallets, 4"
Gases:
N2
O2
Cl3 & Argon
2008 vintage.
STS Pro ICP (Inductively Coupled Plasma) Ätzer/Ascher ist eine fortschrittliche Ätzausrüstung für die mikroelektronische Industrie. Es wird im Herstellungsprozess von integrierten Schaltungen und Anzeigetafeln sowie für andere nanotechnologische Anwendungen eingesetzt. Das hochpräzise Ätzsystem wurde entwickelt, um extrem präzise Ergebnisse auf einer Reihe von Materialien wie Polyimid zu liefern. Pro ICP setzt bei den Ergebnissen in erster Linie auf den Plasmaätzprozess. Zu den Hauptkomponenten der Einheit gehören der Plasmagenerator, die HF-Stromversorgung, die Plasmakammer, die Lastschloßkammer und die Stützhardware. Der Plasmagenerator verwendet eine Vakuum-Turbomolekularpumpe, um Plasma zu erzeugen, indem elektrische Ströme in reaktiven Gasmolekülen induziert werden. Dadurch entstehen Radikale, Ionen, Atome und erregte Partikel, die den Prozess des Ätzens und der Verbesserung der Oberflächenhaftung sekundär zur Bindung ermöglichen. Zur Bearbeitung von Substraten verwendet die Maschine Argongas, das auf hohe Temperaturen erhitzt wird, um die zur Erzeugung des Plasmas benötigte HF-Leistung zu aktivieren. Innerhalb der Plasmakammer wird das betroffene Gas abgekühlt und im gewünschten Maße kondensiert. Je nach verarbeitetem Material werden über das thermische Steuerwerkzeug hoch kontrollierbare Temperaturen von 150 ° bis 700 ° C (302 ° bis 1290 ° F) erreicht, was eine vollständige thermische Flexibilität und Kontrolle beim Ätzen von Hochleistungswerkstoffen ergibt. STS Pro ICP asset ist zudem mit einer leistungsstarken und präzisen Druckregelung ausgestattet, die eine präzise Steuerung von Lastschlössern, Spülsystemen und Trockenpumpen ermöglicht. Dies bietet eine vielseitige und engagierte Steuerung bei höchster Sicherheit. Zusätzlich hat das Modell eine Vorschau im Vakuum, Elektronmikroskop für die Prozessüberprüfung scannend. Pro ICP ist die perfekte Lösung für präzise und wiederholbare Ätzprozesse für mikroelektronische Anwendungen. Es bietet eine hervorragende Prozesskontrolle, um ein gleichmäßiges Ätzen auf einer Vielzahl von Materialien zu gewährleisten. Die präzisen Eigenschaften und zuverlässigen Ergebnisse machen es ideal für den Einsatz in Anwendungen mit hoher Nachfrage.
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