Gebraucht STS Pro ICP #9294114 zu verkaufen
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ID: 9294114
Wafergröße: 8"
Etcher, 8"
(2) Load ports, 8" (Can process 25 wafers)
Operating system: Windows
Vacuum load lock:
Carousel load lock, 8" (Can process 2 wafers)
Chamber lid temperature control
Automatic transfer of substrates between load-lock and process chamber
Process chamber:
Turbo pump
Chiller
Single wafer process chamber
VAT Pendulum valve
Backside helium cooling
Remote sealed extracted gas box with welded gas lines
Electronic cabinet
LCD Flat panel monitor
Automatic multistep processing / Manual operation
High frequency RF Generator
Low frequency RF Generator
Vacuum pump (Load lock)
Vacuum pump (Chamber)
ESD Chuck
System cables.
STS Pro ICP ist ein hochmoderner Ätzer/Ascher, der Schnelligkeit und Präzision für industrielle, wissenschaftliche und medizinische Anwendungsprozesse bietet. Dieser Ätzer/Ascher behält in nahezu jeder Umgebung eine hochwertige Leistung von Konstruktionen und Messungen bei. STS ICP verfügt über einen Top-of-the-Line-Fräskopf mit einer beeindruckenden Geschwindigkeit von bis zu 80.000 U/min. Die hochpräzisen Motoren und die Vorschubgeschwindigkeit ermöglichen detaillierte Ätz- und Aschearbeiten mit reibungslosen Ergebnissen bei hohen Erträgen. Das pneumatisch gesteuerte Design verfügt über ein LCD-Display zur komfortablen Überwachung der Produktionseinstelleinstellungen. STS ICP ist auch mit einem breiten Breiten- und Tiefenbereich von 200 bis 2000 mm bzw. 3 bis 12 mm kompatibel und bietet eine präzise Kontrolle während des Produktionsprozesses. Es kann auch bis zu drei Arten von Spitzen für das Ätzen in verschiedenen Oberflächen unterbringen. Neben seiner beeindruckenden Produktionsgeschwindigkeit und der Vielzahl an Einstellungen verfügt STS ICP auch über doppelte vakuumunterstützte Systeme, die für Genauigkeit sorgen und eine Oxidation der ashed Oberflächen verhindern. STS ICP kommt mit einem eingebauten Bildverarbeitungssystem, das bei der automatisierten Ausrichtung und Zentrierung unterstützt, unter Berücksichtigung aller Details mit höchster Genauigkeit. Es ist auch mit einem Galvanometer und wassergekühlte Spitze Steuerung für zusätzliche Präzision und Wiederholbarkeit ausgestattet. Mit der High-Tech-Hardware und der ausgeklügelten Software von STS ICP können die Anwender sicher sein, dass sie Zugriff auf die zuverlässigsten und präzisesten verfügbaren Ätz- und Aschelösungen haben. Dieses Produkt eignet sich für eine breite Palette von Anwendungen in der Mikroskopie, medizinischen Geräten, Optoelektronik, Mikroelektronik und anderen technischen und wissenschaftlichen Anwendungen. Mit seiner unschlagbaren Genauigkeit, der schnellen Bearbeitungszeit und der langlebigen Konstruktion ist STS ICP das perfekte Werkzeug für jede industrielle Umgebung.
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