Gebraucht STS Pro ICP #9304690 zu verkaufen
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ID: 9304690
Etcher, 8", parts system
(2) Load ports, 8" (Can process 25 wafers)
Operating system: Windows
Vacuum load lock:
Carousel load lock, 8" (Can process 2 wafers)
Chamber lid temperature control
Automatic transfer of substrates between load-lock and process chamber
Process chamber:
Turbo pump
Chiller
Single wafer process chamber
VAT Pendulum valve
Backside helium cooling
Remote sealed extracted gas box with welded gas lines
Electronic cabinet
LCD Flat panel monitor
Automatic multistep processing / Manual operation
High frequency RF Generator
Low frequency RF Generator
Vacuum pump (Load lock)
Vacuum pump (Chamber)
ESD Chuck
System cables.
STS Pro ICP (Inductively Coupled Plasma Etch/Asher) ist ein fortschrittlicher Ätzer/Ascher, der von STS Technologies, Inc., einem führenden Anbieter von Ätz- und Ablationsgeräten, entwickelt wurde. Diese Maschine verwendet die direkte Ankopplung eines Hochleistungs-Hochfrequenzgenerators an eine Induktionsspule, um ein hochgenaues, gleichmäßiges Plasmafeld über einen weiten Frequenzbereich zu liefern. Dies führt zu schnelleren Ätz- und Aschezeiten, erhöhter Reproduzierbarkeit und überlegener mikroskopischer und nanoskopischer Präzision. Pro ICP-Systeme werden in einer Vielzahl von Ätz- und Ablationsanwendungen eingesetzt, darunter UV-Laserätzen, Plasmaätzen, Mehrschichtätzen, chemischer Dampfabscheidung, Sputterätzen und Laserablation. STS Pro ICP kann ein oder mehrere Substrate gleichzeitig verarbeiten, mit einstellbarer Temperatur und Druck, und die Fähigkeit, Ätz- oder Ascherprofile voreinzustellen. Die mehrschichtigen Ätz- und Ascherverfahren eignen sich für eine Vielzahl von Materialien, darunter Dünnschichtsolarzellen, Lithium-Ionen- und Li-Ionen-Batteriematerialien, Mikroelektronik und andere Nanomaterialien. Pro ICP-Maschine ist mit einer fortschrittlichen intelligenten Steuerungsausrüstung ausgestattet, die Parameter wie Plasmaenergie, Gasflussrate, Ätzparameter und andere relevante Variablen überwachen und anpassen kann. Es ist auch in der Lage, automatisierte Funktionen wie Waferkantenverarbeitung, gleichmäßiges Ätzen und Schichtätzen auszuführen. Damit ist STS Pro ICP ein ideales Werkzeug, um hochgenaue und präzise Ätz- und Ascherergebnisse zu erzielen. Zusätzlich kann die Maschine in bestehende Systeme zur automatisierten Probenverarbeitung integriert werden, so dass Anwender ihre Produktionsprozesse optimieren können. Das Pro ICP-System wurde entwickelt, um Endbenutzern überlegene Zuverlässigkeit, Sicherheit und Leistung zu bieten. Das Gerät ist mit einer Sicherheitsverriegelungsmaschine ausgestattet und ist ETL-zertifiziert (elektrisches Prüflabor) nach UL (Underwriters Laboratories) Standards. Die Ätz- und Ablationsprozesse werden durch ein einzigartiges Vakuumwerkzeug geschützt, das sicherstellt, dass Partikel nicht zu einer Verunreinigung der Umgebung werden. Mit STS Pro ICP können Anwender sicher sein, dass sie mit minimalem Risiko und maximaler Reaktionskontrolle ein Höchstmaß an Qualität und Genauigkeit erreichen.
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