Gebraucht STS Pro ICP #9361815 zu verkaufen
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ID: 9361815
Wafergröße: 2"-4"
Weinlese: 2008
Etcher, 2"-4"
Process: InP etch
EDWARDS IH80 Pump
LEYBOLD HERAEUS Turbo pump
VARIAN Scroll pump on load lock
Gases: N2, O2, Cl3 and Argon
Clamp type: SEMCO ESC
Single chamber
2008 vintage.
STS Pro ICP ist ein Ätzer/Ascher für die industrielle Hochdurchsatzproduktion. Es ist mit fortschrittlichen Funktionen ausgestattet, wie einstellbare Prozessparameter, Schichtselektivität und niedrigere Kammererwärmung, die eine genaue Kontrolle der Prozessrezepte ermöglichen. Die Plattform nutzt die HF-Induktionsheiztechnik, die es ihr ermöglicht, in einem Frequenzbereich von 0,1 bis 1000 MHz zu arbeiten. Die maximale Verarbeitungsleistung beträgt bis zu 700 W, der maximale Temperaturbereich 700-1200 ° C. Die Ausrüstung ist programmierbar, um eine Vielzahl von Prozessrezepten zu unterstützen, einschließlich trockenes Prozessätzen und -aschen, Nass- und Trockenmustern, Oxidabscheidung und höherschichtiges Ätzen. Es enthält auch erweiterte Funktionen wie Im-Bett-Profilierung und Hochleistungs-Plasmaätzen. Der integrierte Controller verfügt über eine intuitive grafische Benutzeroberfläche, wodurch das System einfach zu bedienen und einzurichten ist. Die einfach zu bedienende Software bietet eine breite Palette flexibler Optionen zur Einstellung von Prozessparametern, während fortschrittliche Prozesssteuerungsalgorithmen eine hervorragende Stabilität und Wiederholbarkeit der Prozesse ermöglichen. Pro ICP umfasst eine Reihe von Sicherheitsfunktionen sowie Interlocks und vollständige Überwachungsfunktionen. Es ist mit einer Diagnoseeinheit für einfache Fehlerbehebung und vorbeugende Wartungszwecke ausgestattet. Darüber hinaus kann die Maschine in einer Reihe von Automatisierungskonfigurationen eingesetzt werden, darunter ein Inline-Tool für die kontinuierliche Produktion und ein Batch-Asset für mehr Flexibilität und Auftragsverfolgung. Das Modell ist erweiterbar, um die Anforderungen an Durchsatz und Vielseitigkeit verschiedener Anwendungen zu erfüllen. Insgesamt ist STS Pro ICP ein zuverlässiger, benutzerfreundlicher Ätzer und Ascher, der für die industrielle Hochdurchsatzproduktion geeignet ist. Die erweiterten Funktionen, Sicherheitsfunktionen und Automatisierungsfunktionen bieten eine höhere Flexibilität und verbesserte Prozesskontrolle und Wiederholbarkeit.
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