Gebraucht SUMITOMO SP012 #293776226 zu verkaufen

SUMITOMO SP012 ist eine hochmoderne Ätz-/Aschermaschine für die präzise und effiziente Verarbeitung verschiedener Materialien in der Halbleiterherstellung, Forschung und Entwicklung. Mit seinen fortschrittlichen Technologien und leistungsstarken Fähigkeiten bietet SP012 eine beispiellose Steuerung und Flexibilität bei Ätz- und Ascheprozessen und ist damit ein wertvolles Werkzeug, um qualitativ hochwertige Ergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungen zu erzielen. Hauptmerkmale und technische Spezifikationen: 1. Plasma-Source-Technologie: SUMITOMO SP012 ist mit einer Hochleistungs-Plasmaquelle ausgestattet, die ein hochreaktives Plasma erzeugt, um Photoresist, Polymere und andere organische Materialien effizient von Substraten zu entfernen. Die Plasmaquelle sorgt für ein gleichmäßiges und konsistentes Ätzen/Aschen über die Substratoberfläche und ermöglicht eine präzise Strukturierung und Prozesskontrolle. 2. Prozessflexibilität: SP012 bietet eine breite Palette von Prozessparametern und Optionen für verschiedene Materialien und Anwendungen. Benutzer können Parameter wie Gasdurchflussraten, Druck, Temperatur und HF-Leistung anpassen, um den Ätz-/Ascheprozess an spezifische Anforderungen anzupassen und so optimale Ergebnisse für verschiedene Materialien und Strukturen zu gewährleisten. 3. Mehrstufige Verarbeitung: SUMITOMO SP012 unterstützt mehrstufige Verarbeitungsfunktionen, so dass Benutzer verschiedene Ätz-/Ascheschritte mit unterschiedlichen Bedingungen nacheinander ausführen können, um komplexe Gerätestrukturen und -muster zu erreichen. Das System kann so programmiert werden, dass automatisch zwischen verschiedenen Prozessrezepten umgeschaltet wird, was die Produktivität und Prozesseffizienz erhöht. 4. Reactive Gas Control: SP012 verfügt über eine präzise Steuerung der im Ätz-/Ascheprozess verwendeten reaktiven Gase, so dass Anwender spezifische chemische Reaktionen und Selektivität für gezielte Materialien erzielen können. Das Gerät bietet Möglichkeiten zur Steuerung und Mischung von Gasströmen, um kundenspezifische Gaschemien für unterschiedliche Prozessanforderungen zu erstellen. 5. Endpunkterkennung: SUMITOMO SP012 ist mit fortschrittlichen Endpunkterkennungssystemen ausgestattet, die eine Echtzeit-Überwachung des Ätz-/Ascheprozesses ermöglichen. Durch die Erfassung von Änderungen der Plasmaemissionen oder anderer Indikatoren kann die Maschine genau bestimmen, wann der gewünschte Endpunkt erreicht wird, wodurch konsistente Prozessergebnisse gewährleistet und ein Überätzen/Veraschen verhindert wird. 6. Kammerdesign: SP012 verfügt über ein robustes Kammerdesign, das auf Prozessleistung und Zuverlässigkeit optimiert ist. Die Kammer wurde entwickelt, um stabile Prozessbedingungen aufrechtzuerhalten, die Partikelverunreinigung zu minimieren und eine effiziente Plasmaerzeugung und -verteilung für einheitliche Ätz-/Ascheergebnisse zu gewährleisten. 7. Benutzerfreundliche Oberfläche: SUMITOMO SP012 ist mit einer intuitiven Benutzeroberfläche ausgestattet, die die Bedienung von Werkzeugen und die Prozesssteuerung vereinfacht. Das Asset bietet einfache Rezept-Programmierung, Datenprotokollierung und Überwachungsfunktionen, mit denen Benutzer komplexe Ätz-/Ashing-Prozesse problemlos einrichten und ausführen können. Insgesamt ist SP012 Ätz-/Aschermodell eine hochmoderne Lösung für hochpräzise und zuverlässige Ätz-/Ascheprozesse in der Halbleiterherstellung und -forschung. Mit fortschrittlichen Technologien, Prozessflexibilität und benutzerfreundlicher Oberfläche bietet SUMITOMO SP012 überlegene Leistung und Kontrolle für optimale Ergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungen.