Gebraucht TAINICS TE3100 #9144232 zu verkaufen

TAINICS TE3100
Hersteller
TAINICS
Modell
TE3100
ID: 9144232
Weinlese: 2009
ICP Etchers 2009 vintage.
TAINICS TE3100 ist ein Ätzer/Ascher zum präzisen Ätzen und Aschen von Halbleiterscheiben und Komponenten. TAINICS TE 3100 bietet durch seine einzigartige Prozesssteuerung und präzise Temperaturregelung eine überlegene Leistung gegenüber herkömmlichen Burn-In-Techniken. Das Gerät ermöglicht mit seiner intuitiv gestalteten Touchscreen-Bedienoberfläche eine einfache Einrichtung und Anpassung der Prozessparameter. TE3100 verwendet eine unabhängig voneinander isolierte Prozesskammer aus Edelstahl, um eine hohe Temperatur und eine präzise Temperaturregelung zu gewährleisten. Es kann Temperaturen bis zu 800⁰C in einem einzigen 15-Minuten-Takt mit enger Temperaturregelung zum Ätzen und Aschen erreichen. TE 3100 wurde entwickelt, um benutzerfreundlich zu sein, ohne spezielle Werkzeuge für die Reinigung oder Wartung erforderlich. Die kompakte Bauweise ermöglicht auch die Anordnung in der Nähe des Wafer-Fertigungsbereichs für schnelle und einfache Rüst- und Reinigungszyklen. Es verfügt über eine optional eingebaute Auspuffeinheit oder kann mit einer externen Auspuffmaschine verwendet werden, um die Anforderungen der Kundenanwendung zu erfüllen. TAINICS TE3100 verfügt außerdem über zwei Prozessgasoptionen, um eine präzise Temperaturregelung der Kammer zu ermöglichen. Die Inertgasoption dient zum Schutz des Wafers vor jeglicher Oxidation während des Prozesses sowie zur Bereitstellung einer stabilen Atmosphäre. Die Sauerstoffgasoption dient zur Steuerung des Ätz- oder Aschevorgangs. Das Werkzeug hat auch eine präzise Temperaturregelung der Kammer mit einer Genauigkeit von 0,1 ° C, einen Temperaturanzeiger und eine LED-Panel-Anzeige für Prozessdauer und Temperaturmessung. TAINICS TE 3100 wurde entwickelt, um eine erschwingliche Lösung für alle Ätz- und Aschebedürfnisse zu sein. Die Prozesskammer ist für eine wiederholbare, zuverlässige Verarbeitung ausgelegt. Es hat auch eine offene Architektur, die Flexibilität beim Ätzen und Aschen von Rezepten und Parametern ermöglicht. Die Anlage bietet auch einfache Kalibrierung und Wartung, um beste Leistung zu gewährleisten.
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