Gebraucht TECHNICS 220-II #9124218 zu verkaufen
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ID: 9124218
Wafergröße: 4"
Barrel plasma asher
(3) Three gas channels with mass flow controllers
Stainless steel chamber process up to 4” dia
300 Watt 13.56 MHz power supply
Substrates.
TECHNICS 220-II etcher/asher ist eine benutzerfreundliche, leistungsstarke Desktop-Ausstattung, die die Funktionen des Ätzens und des Ashings in einer Plattform kombiniert. Mit einem modularen Aufbau, der aus fünf Hauptmodulen besteht, ist es so konzipiert, dass Benutzer sowohl Schaltungs- als auch Gerätemuster mit hoher Qualität und Präzision zu wesentlich geringeren Kosten als die meisten handelsüblichen Systeme produzieren können. Das erste Modul 220-II Ätzers/Aschers ist ein Hochgeschwindigkeits-Halbleiterätzer. Dieses Ätzmodul bietet überlegene Si: Si-Ätzraten, so dass Anwender höhere Ätzgenauigkeit erzielen können, die mit anderen konventionellen Systemen nur schwer zu erreichen wäre. Der hohe Durchsatz des Ätzmoduls bringt hervorragende Durchsatzmöglichkeiten und eine verbesserte Kontrolle über die Ätztiefe. Das Aschemodul bietet eine leistungsstarke fünfkanalige HF-Plasmaquelle, die Hochtemperatur-hochreaktive Flüsse für einen effektiven und präzisen Aschevorgang erzeugt. Das Aschemodul von TECHNICS 220-II ist in der Lage, hohe Temperaturen zu erreichen, wodurch verschiedene Arten von Materialien wie Si, SiO2, SiN, Polyimide und andere Polymere und Dielektrika ermöglicht werden. Das dritte Modul des Systems bietet eine schnelle und genaue maskenlose Lithographieeinheit. Die maskenlose Lithographie-Maschine von 220-II verwendet ein hochauflösendes Projektionswerkzeug, das überlegene Musterdefinitionsfunktionen bietet, die eine genaue Definition von Geräten und Mustern ermöglichen. Das maskenlose Lithographiemodul bietet dem Anwender zusammen mit weiteren Merkmalen wie der Unterstützung mehrerer Bauformen eine kostengünstige Lösung für die Fertigstellung komplexer Geräte. Das vierte Modul der Anlage stellt ein Inline-Inspektionsmodul zur Verfügung, das zur Identifizierung und Behebung von gerätekritischen Defekten während Lithographiebetrieben ausgelegt ist. Das Inline-Inspektionsmodul ermöglicht die schnelle Erkennung und Korrektur von gerätekritischen Fehlern sowie die Anwendung von Pass/Fail-Kriterien. Darüber hinaus ermöglicht das Modell den Einsatz fortschrittlicher Algorithmen, um die Genauigkeit der Inspektion zu verbessern. Das fünfte Modul der Ausrüstung ist ein manuelles Roboterwerkzeug, das mehrere Hardwarekomponenten für Gerätetests, Prototyping und Montagevorgänge bereitstellt. Mit diesem Tool kann der Benutzer schnell und einfach ein kritisches Gerät montieren, das dann getestet werden kann, um die Geräteleistung zu bestimmen. Das manuelle Roboterwerkzeug bietet darüber hinaus zusätzliche Funktionen wie anwendungsspezifische Gerätesondierung, Manipulation und Analyse vor Ort sowie Fehlerisolierung. Zusammenfassend ist TECHNICS 220-II Ätzer/Asher ein zugängliches und dennoch leistungsfähiges System, das sich für Anwender eignet, die sowohl Schaltungs- als auch Gerätemuster mit hoher Qualität und Präzision produzieren möchten. Durch seine fünf Hauptmodule ist das Gerät so konzipiert, dass es dem Anwender eine effiziente und erschwingliche Lösung für seine Ätz- und Veraschungsvorgänge bietet.
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