Gebraucht TECHNICS DR 5100 #177471 zu verkaufen

TECHNICS DR 5100 ist ein leistungsstarker Ätzer/Ascher, der sich um Ätz- und Aschenanforderungen im IC-Produktionsprozess kümmert. Es verwendet eine Mehrstrahl-Excimer-Laserquelle mit automatischer Strahlausrichtungstechnologie, um eine hohe Gleichmäßigkeit des Trockenätzens in allen Bereichen des IC zu erreichen, was eine verbesserte Geräteleistung ermöglicht. DR 5100 ist ein vollautomatisches Gerät mit benutzerfreundlicher Bedienung, das präzise und wiederholbare Prozesse in IC-Fabs mit minimalem Personalbedarf ermöglicht. Es verfügt über eine hochgenaue Musterausrichtung für präzise Ergebnisse, mit automatischer Prozessparameterabstimmung für optimale Ergebnisse. Die Plattform kann für verschiedene Ätzmuster wie Pfeilspitze, anisotrope, Mesa und Blanking angepasst werden. Die Maschine verfügt über zwei unabhängige Ätz- und Aschebearbeitungskammern, um das gleichzeitige Ätzen und Aschen aus demselben System zu ermöglichen. Die Maschine bietet hochgenaue Ätztiefensteuerung, einstellbare Ätztiefe und Aschegeschwindigkeiten, präzise einstellbare Ätzprozessparameter und präzise Aspektrationskontrolle. Die Pumpeneinheit für TECHNICS DR 5100 besteht aus zwei Stufen einer Turbomolekularpumpe und einer kreisförmigen Stickstoffspül- und Spülmaschine, wodurch ein perfekt sauberes Vakuum gewährleistet ist. Es ist mit einer präzisen UV-Laserquelle ausgestattet und kann über Ethernet oder RS232 gesteuert werden. Das Werkzeug hat die Fähigkeit, den IC in der Produktion mit einer Kamera zu überwachen und zu steuern, gekoppelt mit einer Überwachungseinheit von Signalen, die vom Prozessmodul gesendet werden. Dies ermöglicht eine Echtzeit-Prozessrückkopplung und die Echtzeit-Überwachung von Wafertemperatur, Stickstoffdruck und Ätztiefe. Dies ist eine ideale Plattform für einen IC fab, der seinen Durchsatz erhöhen und den Produktionsprozess verbessern möchte. DR 5100 ist ein zuverlässiger, robuster und leistungsstarker Ätzer/Ascher, der alle Ätz- und Aschenanforderungen integrierter Schaltungen übernimmt.