Gebraucht TECHNICS Micro RIE 800 #9124004 zu verkaufen

TECHNICS Micro RIE 800 ist eine Ätz- und Aschemaschine für den Einsatz in hochpräzisen Prozessen. Die Maschine ist für eine genaue, wiederholbare Steuerung des Ätz- und Ascheprozesses konzipiert und bietet eine ultimative Steuerung der Ätz- und Ascheparameter. Es verwendet ein elektrostatisches Spannfutter, um Substrate beim Ätzen und Aschen sicher an Ort und Stelle zu halten. Dieser Ätzer/Ascher hat aufgrund seiner einzigartigen Designmerkmale einen hervorragenden Leistungsstandard. Es verfügt über vier unabhängige elektrostatische Spannstationen mit einstellbaren Kammerdruckeinstellungen, so dass der Benutzer die Einstellungen für jeden einzelnen Job optimieren kann, was zu einem erhöhten Durchsatz, Kosteneinsparungen und geringerem Verschleiß führt. Sein hochauflösendes Wärmebildsystem ermöglicht zusammen mit seiner Software hochpräzises Ätzen und Aschen mit Gleichmäßigkeit und Wiederholbarkeit. Der Kammerdeckel verfügt außerdem über ein eingebautes Kühlmanagement, das eine verbesserte Prozessgleichförmigkeit, Wiederholbarkeit und Genauigkeit ermöglicht. Dieses Modell ist für spezifische Anwendungen in der Halbleiter-, Mikroelektronik- und Biochip-Industrie konzipiert. Es bietet eine Vielzahl von individuellen und mehreren Substratätz- und -veraschungsfähigkeiten sowie die Möglichkeit, Prozessparameter je nach Anwendung anzupassen. Es verfügt zudem über eine Funktion zur schnellen individuellen Wafer-Mustererkennung, die dem Anwender die Möglichkeit bietet, Ätzprozessparameter zu optimieren. Auf der technischen Seite hat Micro RIE 800 eine Auflösung von 25 μ m und ist mit einer Reihe von Materialien wie Silizium/Siliziumdioxid, Kieselsäure, Aluminiumoxid, Wolfram und Titan kompatibel. Mit einer niedrig induktiven 3-Phasen-Stromversorgung erfordert es Niederdruckanforderungen von weniger als 10 mT, was eine präzise Steuerung und Wiederholbarkeit des Prozesses gewährleistet. Es hat auch eine niedrig induktive Gasversorgung, schützt die Elektroden vor Verschmutzung und sorgt für qualitativ hochwertige Ätz-/Ascheergebnisse. Insgesamt ist TECHNICS Micro RIE 800 ein zuverlässiger, hochpräziser Ätzer/Ascher mit einer Vielzahl fortschrittlicher Funktionen, die es für eine Vielzahl von Anwendungen in der Halbleiter-, Mikroelektronik- und Bio-Chip-Industrie geeignet machen. Seine Auflösung, Wiederholbarkeit und Präzision geben Anwendern Qualitätssicherung und verbesserte Prozesskontrolle, was zu niedrigen Betriebskosten, erhöhtem Durchsatz und Kosteneinsparungen führt.