Gebraucht TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC #293754150 zu verkaufen

TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC ist eine Hochleistungs-Ätz-/Aschermaschine, die für die präzise und effiziente Plasmabearbeitung verschiedener Materialien in der Halbleiter-, Mikroelektronik- und Materialwissenschaftsindustrie entwickelt wurde. Dieses fortschrittliche Plasmasystem ist mit modernster Technologie ausgestattet, um eine überlegene Prozesskontrolle, Wiederholbarkeit und Zuverlässigkeit für eine Vielzahl von Anwendungen zu bieten. Hauptmerkmale und Spezifikationen: 1. Plasmaquelle: 300 PC ist mit einer robusten Plasmaquelle ausgestattet, die hochreaktive Plasmaspezies für Ätz- und Ascheprozesse erzeugen kann. Die Plasmaquelle ist auf verschiedene Frequenzen und Leistungsstufen abgestimmt, um verschiedenen Materialtypen und Prozessanforderungen gerecht zu werden. 2. Prozesskammer: Die Einheit verfügt über eine Hochvakuum-Prozesskammer, die für eine gleichmäßige Plasmaverteilung und effiziente Gasphasenreaktionen ausgelegt ist. Die Kammer besteht aus korrosionsbeständigen Materialien, um rauen Plasmaumgebungen standzuhalten und eine einfache Reinigung und Wartung zu erleichtern. 3. Gasfördermaschine: Das Ätz-/Ascherwerkzeug ist mit einer präzisen Gasförderanlage ausgestattet, um reaktive Gase mit kontrollierten Strömungsgeschwindigkeiten und Drücken in die Prozesskammer einzuspeisen. Dies gewährleistet eine genaue Kontrolle der Plasmachemie und Ätz-/Ascheraten für eine optimale Prozessleistung. 4. Substrat Handling: TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC unterstützt verschiedene Substratgrößen und -typen, darunter Wafer, Glassubstrate und dünne Folien. Das Modell ist mit einer Robotersubstrat-Handhabungseinrichtung zum automatisierten Be- und Entladen von Substraten ausgestattet, die manuelle Eingriffe minimiert und den Prozessdurchsatz verbessert. 5. HF-Stromversorgung: Das Plasmasystem wird durch eine hochfrequente HF-Stromversorgung versorgt, die der Plasmaquelle präzise Leistungspegel zur Kontrolle der Plasmadichte, Gleichmäßigkeit und Stabilität während der Verarbeitung liefern kann. Das HF-Netzteil ist in hochmoderne Impedanzanpassungsnetzwerke zur effizienten Energieübertragung und Plasmaerzeugung integriert. 6. Prozesssteuerungssoftware: Die Ätz-/Aschereinheit wird durch eine ausgeklügelte Prozesssteuerungssoftware gesteuert, die eine benutzerfreundliche Schnittstelle zur Definition von Prozessrezepten, zur Überwachung von Prozessparametern in Echtzeit und zur Optimierung von Prozessbedingungen zur Erzielung gewünschter Ätz- und Ascheergebnisse bietet. Die Software bietet auch Datenprotokollierungs- und Analysetools zur Prozessoptimierung und Fehlerbehebung. 7. Sicherheitsmerkmale: 300 PC ist mit wesentlichen Sicherheitsmerkmalen ausgestattet, um Bedienerschutz und Maschinenintegrität während des Betriebs zu gewährleisten. Dazu gehören Verriegelungen, Not-Aus-Tasten, Gaslecksucher und Überdruckentlastungsventile, um Unfälle zu vermeiden und einen sicheren Umgang mit Gefahrstoffen zu gewährleisten. Insgesamt ist TECHNICS PLASMA GMBH 300 PC ein modernes Ätz-/Ascherwerkzeug, das fortschrittliche Plasmatechnologie mit robustem Design und benutzerfreundlichen Steuerungen kombiniert, um den anspruchsvollen Anforderungen moderner Halbleiter- und Materialbearbeitungsanwendungen gerecht zu werden. Mit seinen leistungsstarken Funktionen, der überlegenen Prozesssteuerung und den Sicherheitsmerkmalen ist dieses Plasma eine ideale Wahl für Forschungs- und Produktionsumgebungen, die präzise und zuverlässige Plasmabearbeitungslösungen benötigen.