Gebraucht TEGAL 1511E #9080737 zu verkaufen

TEGAL 1511E Asher/Etcher ist eine multifunktionale, halbvakuumhaltige, präzise Dünnschichtverarbeitungsanlage, die für die Herstellung von feinlinienförmigen integrierten Schaltungen auf Substraten entwickelt wurde. Dieses System nutzt eine Kombination aus Hochvakuum, Plasma und reaktiven Gasätztechnologien, um Geräte mit präziser Maßsteuerung und hoher Profilgenauigkeit herzustellen. 1511E ist vollautomatisiert und in der Lage, membranbasierte, quarzbasierte und Spin-Coating-Maskierungstechniken zu entwickeln sowie ein direktes, nicht maskiertes Siliziumätzen zu ermöglichen. Die Hauptkammer von TEGAL 1511E ist eine 8 „x8“ Edelstahlkammer, die das Ätzen von Substraten bis zu 2 „x2“ ermöglicht. Die Prozessparameter des Geräts sind voll programmierbar und können je nach Substrat und Prozess bis zu 1 Mikron eingestellt werden. Seine Halbvakuummaschine senkt den Hintergrunddruck, so dass empfindliche Geräte, einschließlich MEMS-Komponenten, direkt geätzt werden können. 1511E verfügt über eine hocheffiziente Turbomolekularvakuumpumpe, die bis zu 6x10-6 Torr Vakuumniveaus erreichen kann. Dieser niedrige Druck trägt dazu bei, die Ätzzeit zu minimieren und höhere Seitenverhältnisstrukturen mit hoher Profilgenauigkeit zu ätzen. Es verwendet auch eine HF-Stromversorgung und eine turbogepumpte voreingestellte Platte, um eine elektronenverstärkte Plasmaumgebung zu schaffen, die eine ausgezeichnete Ätzselektivität und Partikelreduktion gewährleistet. TEGAL 1511E weitere Merkmale RPX-200 ICP-Quellgaseingänge, die die Zugabe zusätzlicher Prozessgase für eine optimale Ätzleistung ermöglichen. Das Werkzeug kann nur in einem Transfer-Modus oder mit einer optionalen Prozesskammer arbeiten, so dass vollständig programmierbare Prozessparameter für die Schnittstelle mit SPS und Prozesssteuerungssoftware. 1511E ist ideal für die Herstellung von Strukturen mit hohem Seitenverhältnis, enger Toleranz und verfügt über eine schlanke Bedienungsplattform, eine intuitive Benutzeroberfläche und eine überlegene Leistung. Seine Wartungsvorgänge erfordern ein minimales Training und seine Kammer ist für den einfachen Austausch von Verschleißkomponenten optimiert. Es entspricht den geltenden Sicherheits- und Umweltvorschriften und kann für eine Vielzahl von Kundenanforderungen konfiguriert werden.