Gebraucht TEGAL 411 #9163033 zu verkaufen

TEGAL 411 ist ein Ätz-/Aschesystem zur Herstellung von Wafern. Sie wird hauptsächlich in der Waferfertigung zur Herstellung integrierter Schaltungen eingesetzt. Der Ätzer hat eine Einkammer-Konstruktion, die es ermöglicht, mehrere Ebenen und Arten von Ätz- und Aschevorgängen innerhalb eines einzigen Zyklus abzuschließen. 411 weist eine obere und untere Kammer mit oberen und unteren Quellen und Substraten auf. Die Kammern sind aus rostfreiem Stahl gefertigt und verfügen über Komponenten, die hochkorrosiven Prozessen wie Reaktivionenätzen gewachsen sind. In jeder Kammer befinden sich zwei Heizzonen, die eine genaue Temperaturregelung ermöglichen. TEGAL 411 verfügt auch über verlustarme Transfermechanismen, die eine hohe Präzision der Ausrichtung von Substraten während der Verarbeitung gewährleisten. 411 kann konfiguriert sein, um Ätz- und Ascheoperationen auf einem Bereich von Halbleitermaterialien durchzuführen, einschließlich Silizium, Verbundhalbleitermaterialien und Polysilizium. Es ist in der Lage, Operationen mit harten Masken durchzuführen, einschließlich Photoresist und Oxidetch/Asche. TEGAL 411 unterstützt auch die Produktion mit hohem Durchsatz, mit Zykluszeiten von 30 Sekunden oder weniger. Die Leistung von 411 wird durch eine Kombination aus leistungsstarker und fortschrittlicher Plasmaquelle sowie Elektronik- und Ionenstrahlsystemen weiter verbessert. Dies ermöglicht weniger Verunreinigungschancen und die mögliche Anwendung von Durchsatz- und Ausbeuteverbesserungstechniken. TEGAL 411 umfasst Sicherheitsmerkmale wie einen Bewegungsmelder und einen Temperaturabschalter. Diese Eigenschaften machen den Ätzer zuverlässig und reduzieren die Chance auf Überhitzung oder andere Probleme, die Materialien beschädigen oder den Prozess zum Scheitern bringen könnten. 411 verfügt auch über geringen Stromverbrauch und ist gut geeignet für 24/7 Produktionsumgebungen. Zusammenfassend ist TEGAL 411 ein Ätz-/Aschesystem, das für die Verarbeitung von Wafern in der Produktion entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine Vielzahl von Ätz- und Ascheoperationen auf einer Reihe von Halbleitermaterialien mit hoher Präzision Ausrichtung und verlustarmen Transfermechanismen durchzuführen. Es verfügt auch über Sicherheitsmerkmale wie Bewegungserkennung und Temperaturabschaltung für erhöhte Zuverlässigkeit. 411 ist ein leistungsfähiges und zuverlässiges System, das für heutige Anwendungen mit hohem Durchsatz geeignet ist.