Gebraucht TEGAL 415 #5672 zu verkaufen

TEGAL 415 ist eine fortschrittliche Ätz-/Aschermaschine, die für ihre schnelle, wiederholbare und ultrafeine Verarbeitung bekannt ist. Es ist die ideale Ausrüstung für Präzisionsprozesse einschließlich MEMS, Dünnschicht- und High-Aspect-Ratio-Strukturen im Mikron-Nanometer-Bereich. 415 verfügt über eine modulare Plattform, die sowohl für das Nass- als auch für das Trockenätzen ausgelegt ist. Das Nassätzen ist ein plasmaverbessertes Verfahren, bei dem Chemikalien oder Gase mit einem hochfrequenten elektrischen Feld ionisiert werden, wodurch ein schnelles, präzises und selektives Ätzen erreicht wird. Trockenätzen verwendet fortschrittliche, hochzuverlässige Technologien wie reaktives Ionenätzen (RIE) und Plasmaätzen zur Tiefenkontrolle und Verarbeitung mit hohem Seitenverhältnis. TEGAL 415 ist in der Lage, präzise Funktionen mit einer Gleichmäßigkeit von ± 3% über einen 4-Zoll-Wafer zu produzieren. Durch minimale Ätzzeiten und hohe Prozessoptimierung wird ein hoher Durchsatz erreicht. Während des Ätzvorgangs können Druckleistungen bis zu 0,01 Torr erhalten und eingehalten werden, was zu einer hohen Wiederholbarkeit führt. 415 ist ein leistungsstarker und präziser Ätzer, der mit einer Vielzahl von Materialien und Anwendungen kompatibel ist. Es verwendet eine versenkbare Kammer, die das Risiko von Partikelverunreinigungen minimiert, und ein Front-End-Beladungssystem, das den Wafer-Transfer eliminiert. Um den Waferschutz beim Ätzen zu gewährleisten, ist das Gerät mit elektrischen und mechanischen Signalen eingebettet, die die Kammerbedingungen einschließlich Temperatur (bis zu 100˚C) und Geschwindigkeit melden. Darüber hinaus ist die Maschine mit einem Top-of-the-Line-Sicherheitswerkzeug ausgestattet, das automatisierte Gasabschaltungen und variable Druckspannbetten zum Schutz vor Druckaufbau und unsicheren Bedingungen umfasst. Dieses Setup ermöglicht auch eine schnelle und einfache Wartung und Wartung. Die modulare und einfach zu bedienende Schnittstelle ermöglicht die Ausführung einer Vielzahl von Ätzrezepten sowohl im Batch- als auch im Single-Wafer-Modus, wodurch diese Ressource sowohl für Entwicklungs- als auch Produktionsumgebungen geeignet ist. Mit einem minimalen Platzbedarf und ausgezeichneter Wirtschaftlichkeit kann sich TEGAL 415 als eine großartige Ergänzung zu einem Labor oder einer Anlage erweisen, das MEMS, Dünnschichtstrukturen und Strukturen mit hohem Seitenverhältnis verarbeitet.