Gebraucht TEGAL 415 #9143547 zu verkaufen

TEGAL 415 ist ein Ätzer/Ascher. Es ist speziell für Anwendungen in der Halbleiterindustrie konzipiert und bietet durch seine hochgenauen Strahlabgabesysteme eine verbesserte Leistung. 415 ist eine vollautomatische Ausrüstung, die verschiedene Wafergrößen bis 8 Zoll Durchmesser und abgewinkelte Wafer handhaben kann. Es wurde entwickelt, um den Durchsatz und die Genauigkeit zu maximieren und gleichzeitig eine sichere Umgebung zu gewährleisten. Das System verfügt über fortschrittliche optische Systeme für die Strahlabgabe. Dazu gehört eine isotrope Strahlhomogenisierungseinheit, die hochpräzise Strahlprofile über die gesamte Waferoberfläche liefern kann und eine gleichmäßige Ätzung gewährleistet. Die Strahlfleckgröße und Divergenz wird mit einer Genauigkeit von ± 1% beibehalten, was eine optimale Ätzleistung garantiert. Die Maschine verfügt außerdem über ein vollautomatisches Endpunkterkennungswerkzeug zur effektiven Steuerung des Ätzprozesses. Der Endpunktdetektionssensor misst das Lichtintensitätsprofil der geätzten Waferoberfläche, wodurch ein genaues Ätzmaß erzielt wird. Das Asset kann im manuellen oder automatisierten Modus betrieben werden, sodass die Betreiber Ätzparameter schnell und einfach anpassen können. Die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche des Modells macht die Bedienung der Geräte auch für unerfahrene Anwender intuitiv. Das System verfügt über eine leistungsstarke Kühleinheit, die die Temperaturstabilität aufrechterhält und thermische Schäden beseitigt. TEGAL 415 umfasst auch fortschrittliche Sicherheitsmaßnahmen, einschließlich eines Abdeckverriegelungssicherheitsschalters, der die Maschine beim Öffnen sofort abschaltet. Zusammenfassend ist 415 ein hochgenauer Ätzer/Ascher, der speziell für die Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist in der Lage, eine präzise Strahlabgabe vorzusehen, wodurch ein gleichmäßiges Ätzen über die gesamte Waferoberfläche erreicht wird. Das Endpunkterkennungswerkzeug ermöglicht eine genaue Steuerung des Ätzprozesses, während die benutzerfreundliche grafische Benutzeroberfläche eine einfache Bedienung ermöglicht. Die leistungsstarke Kühlung von TEGAL 415 in Kombination mit fortschrittlichen Sicherheitsmaßnahmen garantiert eine sichere Umgebung für die Anwender und die in der Halbleiterindustrie erwartete hochpräzise Ätzleistung.