Gebraucht TEGAL 515 #293655082 zu verkaufen

TEGAL 515 ist ein Ätzer/Ascher, der für eine Reihe von Prozessen in der Elektronikindustrie eingesetzt wird. Es bietet Abscheide- und Ätzfähigkeiten für eine Vielzahl von Materialien wie Si, SiO2, SiN, WSi2, metallische Legierungen und andere leitfähige und nicht leitfähige Materialien. 515 ist speziell für die Abwicklung von Serienprozessen ausgelegt. Es ist mit einer Reihe von Funktionen ausgestattet, die eine effiziente Verarbeitung erleichtern. Diese Funktionen umfassen Hochgeschwindigkeitsabscheidung und Ätzraten, die einen optimierten Durchsatz ermöglichen; präzise Kontrolle über Prozessparameter wie Druck, Temperatur und Gasfluss; und eine erweiterte Steuereinrichtung mit Echtzeitüberwachung aller Parameter. Der Ätzer/Ascher bietet auch Prozessflexibilität, mit der Fähigkeit, eine Vielzahl von Ätzgasen zu verwenden, sowie eine Mischung aus zwei oder mehr für komplexere Prozesse. Es zeigt auch eine Präzision automatisches Oblatenberührensystem mit einer patentanhängigen Vektoreneinheit, die genauer Kontrolle der Position der Oblate in Bezug auf das Ätzenwerkzeug, sowie eine Hopräzisionsgebläsepumpe ermöglicht, den optimalen Druck während der Absetzung aufrechtzuerhalten. TEGAL 515 kommt auch mit einer Reihe von anderen Funktionen, die für eine benutzerfreundliche Erfahrung machen. Dazu gehören intuitive Benutzeroberflächen-Bildschirme, benutzerfreundliche Prozessrezepte, integrierte Diagnosen zur Fehlerbehebung und mehrere Rezepte für optimale Prozesseinstellungen. Darüber hinaus kann die Maschine für verschiedene Rezepte und Prozessparameter konfiguriert werden, damit Benutzer sie an ihre spezifischen Bedürfnisse anpassen können. Zusammenfassend ist 515 ein Hochleistungs-Ätzer/Ascher, der für eine zuverlässige und präzise Abscheidung und Ätzung verschiedener Materialien ausgelegt ist. Es bietet schnelle Abscheidung und Ätzraten; präzise Steuerung der Prozessparameter; ein robustes Steuerungswerkzeug; flexible Verwendung von Ätzgasen; präzise Wafer-Handhabung; und benutzerfreundliche Funktionen für störungsfreien Betrieb.