Gebraucht TEGAL 515 #9192920 zu verkaufen

TEGAL 515 ist eine Ätz-/Aschermaschine, die von der Lam Research Corporation entworfen und hergestellt wurde. Dieses Wafer-Ätzer/Ascher-System wird in erster Linie zum Entfernen von Halbleitermaterialien verwendet. 515 nutzt eine leistungsstarke Prozesskammer und verfügt über ein Multi-Deck-Source-Design mit einer großen Multi-Dielektrikum-Pfad-Gasfördereinheit. TEGAL 515 ist mit einer Hauptkammer, einer hochdichten Plasmamaschine (HDP) und einer unabhängigen Turbopumpe ausgestattet. Die Hauptkammer ist eine temperaturgeregelte, isolierte Prozesskammer, die bei geringem Stromverbrauch hocheffizient ist. Diese Kammer bietet eine kontrollierte Umgebung für eine effiziente Entfernung ohne thermische Gradienten oder mechanische Wechselwirkungen zwischen Wafer und Prozessgasen. Die Hauptkammer beseitigt auch das Verunreinigungspotenzial, das durch direkte oder indirekte Wärmestrahlung auftreten könnte. Das HDP-Werkzeug bietet ein Plasma hoher Dichte, um plasmaunterstütztes chemisches Ätzen zu erzeugen und ist in der Lage, auf mehrschichtigen Photomasken zu arbeiten. Um die Ätzgenauigkeit weiter zu erhöhen, ist eine Ionenquelle mit geringen Auswirkungen enthalten. Die Ionenquelle wird auch zur plasmaunterstützten Abscheidung verwendet. Die unabhängige Turbopumpe sorgt für eine konsistente und stabile Vakuumumgebung in der Prozesskammer, indem sie den Druck in der Prozesskammer aktiv steuert. Die Turbopumpe kann Betriebsdrücke bis zu 10-7 mbar erreichen. 515 ist mit einer Vielzahl von Gasversorgungsmöglichkeiten ausgestattet, die entweder in einer blasen- oder blasenfreien Lieferkonfiguration aktiviert werden können. Die Optionen für die Gasversorgung umfassen Stickstoff, Sauerstoff, Argon, Kohlendioxid und Schwefelhexafluorid. Die integrierte Gasversorgung ermöglicht den Einsatz mehrerer Prozessgase und kann weiter optimiert werden, um den spezifischen Prozessanforderungen jeder Anwendung gerecht zu werden. TEGAL 515 verfügt auch über verbesserte Sicherheits- und Zuverlässigkeitsmerkmale, die einen elektromagnetischen Störschutz umfassen und sein modulares konfigurierbares Design die Installation und Wartung zu einem Kinderspiel macht. Schließlich ermöglicht die programmierbare Schnittstelle die automatisierte Vorverarbeitung, das In-situ-Reporting und das Ende der Laufdatensammlung. Mit seinen verbesserten Sicherheitsmerkmalen, einem Plasmamodell mit hoher Dichte, einer unabhängigen Turbopumpe und einer programmierbaren Schnittstelle ist 515 Ätzer/Ascher von Lam Research Corporation eine ideale Wahl für die Entfernung von Halbleitermaterial.