Gebraucht TEGAL 6000 #293616018 zu verkaufen

TEGAL 6000
Hersteller
TEGAL
Modell
6000
ID: 293616018
Plasma etcher.
TEGAL 6000 ist ein Ätzer/Ascher, der speziell für die Herstellung von IC-Masken (Integrated Circuit) mit dem zuverlässigen photolithographischen Verfahren entwickelt wurde. Es wurde entwickelt, um eine vollautomatische, benutzerfreundliche und kostengünstige Lösung anzubieten, die an die Bedürfnisse jedes Kunden angepasst werden kann. Dieses Gerät verfügt über einen großen Sichtbereich und eine außergewöhnlich steife Struktur, die eine hohe Wiederholbarkeit, genaue Ausrichtung und Langzeitstabilität gewährleistet. Es verfügt auch über die neuesten Laserausrichtungs- und Maskenerzeugungssysteme für trockene und nasse Systeme. 6000 können sowohl kleine als auch große Substrate handhaben, bis zu einer Größe von maximal 30 ". Es ist in der Lage, Auflösungen bis zu 10 Mikrometer mit einer maximalen Tiefe von 5 Mikrometern zu erzeugen. Das Gerät verwendet eine Hochgeschwindigkeitspräzision x-y Tisch, Schritt und mehrmalige Operationen berücksichtigend. Diese Funktion macht die Ausrüstung gut geeignet für Umgebungen, in denen Volumenarbeit erforderlich ist. Darüber hinaus bietet TEGAL 6000 eine hervorragende Empfindlichkeit und ein breites Spektrum an Einstellmöglichkeiten zum Ätzen von Trocken- und Nassschichten auf Wafern. Hinsichtlich der Sicherheitsmerkmale verfügt 6000 über eine überwachte Atmosphäre, die es dem Bediener ermöglicht, während des Ätzvorgangs entstehende gefährliche Nebenprodukte zu überwachen. Die Geschlossene Kammer Umwelt (CCE) sorgt auch dafür, dass der Arbeitsbereich sauber und jederzeit eingedämmt ist, wodurch die Gefahr einer Kontamination verringert wird. In Bezug auf den Betrieb ist TEGAL 6000 einfach und einfach. Die Benutzeroberfläche bietet ein einfaches grafisches Menüsystem und ein integriertes Diagnose- und Fehlerbehebungsmenü. Der große, helle, hintergrundbeleuchtete LCD-Bildschirm bietet dem Benutzer alle Informationen, die er benötigt. Auch die verschiedenen Control-Tops, Zifferblätter und Schalter erleichtern eine einfache Bedienung. 6000 ist ein äußerst nützlicher und zuverlässiger Ätzer/Ascher sowie eine äußerst kostengünstige Lösung für hohe und niedrige Serienbedürfnisse. Seine Fähigkeit, sowohl große als auch kleine Substrate zu handhaben, mit Auflösungen von bis zu 10 Mikrometer und einer maximalen Tiefe von 5 Mikrometern, bieten ausgezeichnete Ätzergebnisse. Mit seiner On-Board-Diagnose, automatisierten Maskenerzeugungssystemen und hoher Leistung ist TEGAL 6000 gut für die IC-Produktion geeignet.
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