Gebraucht TEGAL 6500 / 6540 #165814 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 165814
Weinlese: 2006
Dry etch system, 6"
Software
Main Software: Tegal Software Version 5.54
Operating System: DOS
Host Interface: Tegal 65** Gem/Secs Ii Version 1.9e
Human Interface
Main Interface: Vga Monitor (12vdc) With Touchscreen (Front)
Remote Interface: Vga Monitor (12vdc) With Touchscreen (Rear)
Additional Interface: Windows Compliant Keyboard
Signal Tower: Yes (Red, Amber And Green)
Process Module: PM1 / PM2 / PM3
Manufacturer: TEGAL / TEGAL / TEGAL
Function: PLASMA/RIE ETCH / PLASMA/RIE ETCH / PLASMA STRIPPER
Environment: VERY-LOW PRESSURE / VERY-LOW PRESSURE / LOW PRESSURE
Chamber: CAPACITIVE COUPLED / CAPACITIVE COUPLED / INDUCTIVE COUPLED
Chuck: ESC CHUCK / ESC CHUCK / CENTERING RING
Rough Pump: ALCATEL ADS602 / ALCATEL ADS602 / ALCATEL ADS602
Turbo Pump: VARIAN TV-1001 / VARIAN TV-1001 / NONE
Turbo Pump Controller: VARIAN TURBO-V 1000 ICE / VARIAN TURBO-V 1000 ICE / NONE
Convectron: VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (SUB-CHAMBER X1 AND FORELINE X1) / VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (SUB-CHAMBER X1 AND FORELINE X1) / VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (SUB-CHAMBER X1 AND FORELINE X1)
Baratron: MYKROLIS CMX100 (100mTORR) / MYKROLIS CMX100 (100mTORR) / MKS CAPACITANCE MANOMETER (1TORR)
Ion Gauge: EDWARDS ACTIVE GAUGE AIM-S-NW25 / EDWARDS ACTIVE GAUGE AIM-S-NW25 / NONE
Pressure Control: VAT THROTTLE VALVE (61246-PIGG-AEG1) / VAT THROTTLE VALVE (61246-PIGG-AEG1) / VAT THROTTLE VALVE (61246-PIGG-AEG1)
Endpoint: DIODE ARRAY / DIODE ARRAY / DUAL DIODE
RF GENERATOR (Mhz) MKS OEM-12B / MKS OEM-12B / MKS OEM-12B
RF GENERATOR (Khz) ENI LPG-6ATM 1 / ENI LPG-6ATM 1 / NONE
Mfc 1 CF4 (50sccm) CF4 (50sccm) O2 (2000sccm)
Mfc 2 Cl2 (50sccm) Cl2 (50sccm) O2 (200sccm)
Mfc 3 NOT USED / HBr (50sccm) NOT USED / HBr (50sccm) N2 (200sccm)
Mfc 4 CHF3 (100sccm) / CHF3 (100sccm) / NONE
Mfc 5 Ar (50sccm) Ar (50sccm) NONE
Mfc 6 O2 (50sccm) O2 (50sccm) NONE
Wafer Backside: Flow He (5Torr UPC) He (5Torr UPC) NONE
Purge Gas: N2 / N2 / NONE
Vent Gas: N2 / N2
Temp. Control: HEAT EXCHANGER ON CHUCK AND UPPER WALL (80 DEG CELSIUS) / HEAT EXCHANGER ON CHUCK AND UPPER WALL (80 DEG CELSIUS) / CHUCK COIL HEATER (250 DEG CELSIUS)
Temp. Control Unit: NESLAB DUAL CHANNEL TCU / NESLAB DUAL CHANNEL TCU / THE SIXTH SENSE AI-100 TEMP. CONTROLLER
Rinser Module: PM4
Manufacturer: SEMITOOL
Function: SINGLE WAFER RINSER/DRIER
Environment: ATMOSPHERIC
Chamber: PTFE BOWL W/ PVDF LINED HEAD COVER
Chuck: PTFE FINGER CANTILEVER ON HEAD ROTOR
Rotor: STEPPER MOTOR W/ LC-1 MOTOR DRIVER
Rinser Head: LIFT AND ROTATE ASSEMBLY
Purge Gas: N2
Diw Temp: 80 DEGREES CELSIUS
Temp. Control: IN-LINE HEATER (PVDF HOUSING WITH PFA-JACKETED HEATING ELEMENT)
Temp. Control Unit: TEGAL DIW HEATER CONTROLLER
Pre-Aligner Module: PM5
Manufacturer: BROOKS AUTOMATION
Function: WAFER FLAT AND CENTER ALIGNER
Environment: VERY LOW PRESSURE
Chamber: ALUMINUM HOUSING MOUNTED TO CORE
Chuck: FORK WITH RUBBER PADS
Transfer Module: TM1 TM2
Manufacturer: ASYST ADE
Function: THETA AND RADIUS ROBOT ARM Z-AXIS, THETA AND RADIUS ROBOT ARM
Environment: VERY LOW PRESSURE ATMOSPHERIC
Controller: ASYST UTC-100A CONTROL SYSTEM ADE SERIES 350 ARM CONTROLLER
Chamber: MOUNTED INSIDE THE CORE CHAMBER MOUNTED ON THE ATMOSPHERIC PLATFORM
Modules Serviced: CM1, PM5, PM1, PM2 AND PM3 PM3, PM4 AND CM2
Casette Module: CM1 CM2
Manufacturer: TEGAL TEGAL
Function: SENDER RECIEVER
Environment: ATMOSPHERIC / VERY LOW PRESSURE ATMOSPHERIC
Chamber: ALUMINUM HOUSING MOUNTED TO THE CORE PLATFORM-TYPE
Elevator: YES / NO
Wafer Sensing: RETRO-REFLECTIVE SENSOR (INDIVIDUAL WAFER SENSING) RETRO-REFLECTIVE SENSOR (BLOCK SENSING AFTER CASETTE IS LOADED)
Vent Gas: N2 NONE
Convectron: VARIAN EYESYS CONVECTORR X1 NONE
Miscellaneous: CORE
Manufacturer: TEGAL
Function: HEXAGON-SHAPED CORE CHAMBER
Environment: VERY-LOW PRESSURE
Chamber: ALUMINUM HOUSING WITH CLEAR ACRYLIC TOP COVER
Rough Pump: ALCATEL ADP122
Turbo Pump: VARIAN TV-301
Turbo Pump Controller: VARIAN TUBO-V 301 VAVIGATOR CONTROL UNIT
Convectron: VARIAN EYESYS CONVECTORR X2 (CORE X1 AND FORELINE X1)
Facility Requirements
Ac Power: YES WITH POWER TRANSFORMER (380Vac Secondary, 3φ, 75KVA)
Cda: YES
Diw: YES
Cooling Water: YES
Industrial City Water : YES
Warehoused
2006 vintage.
TEGAL 6500/6540 sind fortschrittliche Ätz- und Aschersysteme zur Verarbeitung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente. Die Hightech-Ätz- und Ascheausrüstung nutzt die neuesten technologischen Fortschritte und liefert die zuverlässigsten und qualitativ hochwertigsten Ergebnisse. 6500/6540 Ätzer/Ascher ist eine beeindruckende Maschine mit zahlreichen Funktionen, die es perfekt für verschiedene Anwendungen in der Halbleiterindustrie machen. Das System basiert auf der fortschrittlichen LPCVD-Technologie mit zwei unterschiedlichen Prozessen; Aschen und Ätzen. Dadurch kann der Anwender beide Prozesse gleichzeitig verarbeiten. Das Gerät verfügt außerdem über ein einzigartiges Niederdruck-Aschemodul, das die Partikelverschmutzung reduziert und die Ausbeute erhöht. TEGAL 6500/6540 verfügt über eine temperaturgesteuerte Umgebung und eine fortschrittliche Reaktionskammer, die sehr zuverlässig ist und eine konsistente Verarbeitung ermöglicht. Die LPCVD-Technologie bietet die optimale Umgebung durch die Druckkammer, um qualitativ hochwertige Teile herzustellen. Eine integrierte Bildverarbeitungsmaschine überwacht die Verarbeitungsergebnisse und Reaktionen, um sicherzustellen, dass die Teile ein hohes Qualitätsniveau behalten. Das Tool ist sowohl für die manuelle als auch für die automatisierte Bearbeitung konzipiert und somit für verschiedene Prozesse und Anwendungen sehr vielseitig einsetzbar. Für die automatisierte Bearbeitung steuern 6500/6540 den Druck und die Temperatur beim Aschen sowie die Steuerung des Ätzens. Das Asset bietet zudem Präzisionsüberwachung und -diagnose sowie integrierte Analysefunktionen, um die Prozessleistung sicherzustellen. TEGAL 6500/6540 verfügt auch über erweiterte Materialhandhabungsfunktionen. Die eingebauten Roboter arbeiten zusammen, um Teile in der effizientesten Reihenfolge für die Prozessoptimierung zu liefern. Das Modell ist auch mit einer einzigartigen Förderanlage ausgestattet, die schnell und effizient liefert. 6500/6540 ist in der Lage, zahlreiche Materialien zu aschen und zu ätzen, darunter Metalle, Keramik, Halbleiter und Kunststoffe. Das System wurde entwickelt, um eine Vielzahl von chemischen Prozessen zu unterstützen, darunter ISO-CVD, OXCVD und MWBE. Darüber hinaus verfügt das Gerät über Sicherheitsfunktionen wie Sicherheitsverriegelungen, Nothaltestellen und explosionsgeschützte Funktionen. TEGAL 6500/6540 liefert Konsistenz und qualitativ hochwertige Ergebnisse in einer Vielzahl von Anwendungen. Mit seinen fortschrittlichen Asche- und Ätzfähigkeiten bietet die Maschine eine zuverlässige Verarbeitung und gleichbleibend hohe Qualitätsergebnisse. Das Tool bietet auch eine Vielzahl von erweiterten Funktionen und integrierte Fähigkeiten, so dass es ein idealer Ätzer/Ascher für verschiedene Produktionskapazitäten.
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